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氦质谱检漏仪
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涡轮分子泵广泛应用于高真空以及超高真空领域。从公司发明涡轮分子泵以来一共销售了28万台分子泵。
利用涡轮分子泵可以产生高真空或者超高真空,极限真空度达10-11 mbar。
应用
在很多日常生活产品的生产过程中以及许多技术研究领域真空技术一直是决定性因素之一。涡轮分子泵对产生超纯净的生产条件起着非常重要的作用。
在不同领域应用的例子:
分析 (质谱分析仪, 电子显微镜等)
半导体工业 (电子零部件,集成电路,太阳能电池等)
光学/玻璃工业 (防热,防反射,反射,光学过滤涂层等)
涂层技术 (表面防护, 装饰性涂层, 显示器, 屏幕等)
真空冶炼 (真空焊, 真空烧结, 真空合金,真空炉等)
检漏技术 (真空设备, 车辆油箱, 安全气囊, 包装等)
科研设备 (核物理, 聚变反应研究, 激光应用等)
照明用具行业 (灯泡生产)
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