SQC310-SQC310石英晶体膜厚控制仪|晶控仪-利方达（香港）有限公司北京办事处手机版

产品简介

INFICON SQC310薄膜控制仪

具有*的电子学,改进的显示器,和非常高的性价比,INFICON SQC310 系列为您提供其它生产厂薄膜控制仪所没有的性能与特色.同时可为您的应用选择理想的模式:顺序镀膜(SQC310)或共镀膜(SQC310C).

用于顺序镀膜,SQC310装备有2个传感器输入,2个源输出,和8个数字输入/输出, 提供为这些数量加倍的扩展插件板选件.用于共镀膜,SQC310C控制仪监

详细介绍

INFICONSQC310薄膜控制仪

具有*的电子学,改进的显示器,和非常高的性价比,INFICONSQC310系列为您提供其它生产厂薄膜控制仪所没有的性能与特色.同时可为您的应用选择理想的模式:顺序镀膜（SQC310）或共镀膜（SQC310C）.

用于顺序镀膜,SQC310装备有2个传感器输入,2个源输出,和8个数字输入/输出,提供为这些数量加倍的扩展插件板选件.用于共镀膜,SQC310C控制仪监

特点

■高亮度,¼VGA活性点阵彩色LCD显示器–

可显示英文或中文.

■标准RS-232和USB（有以太网选件）.

■易设置和操作，有“快速设置” 菜单,6个上下文-敏感的按钮,和方便的参数设定旋钮.

■Windows® 程序用于开发,测试,和下载工艺过程,和将仪器数据记录至您的PC上, 用于过程分析与质量控制.

■ 精确的过程控制,尤其用于低淀积率,在10 读值/秒时的分辨率为±0.03Hz,在0至50°C温度范围内的频率稳定性为±2ppm.

■贮存容量高至100个工艺过程,1,000个膜层,50

个膜系.

■用单传感器或多传感器监测源材料, 提供精确的源分布监测.

测多至4个石英晶体传感器,带有4个PID控制输出,16个数字输入,和16个继电器输出,与SQC310 的规范相同.

技术规格：
SQC310	SQC310C
测量
探头输入	2（可选4个）	4
频率范围	4至6MHz
频率分辨	±0.03Hz,在0.10秒测量周期内
频率稳定性	±2ppm总量,0 至50°C
测量速率	1至10Hz
速率显示	0.01Å / 秒
控制
贮存	00个过程,1000个膜层,50个膜系
控制输出	2（4 可选）	4
输出讯号	±0至10伏直流,15数据位
数字输入/继电器	8（16 可选）	16
数字输入	5伏直流非隔离继电器
	SPST从1安,30伏,2安zui大
接口	RS-232和USB（以太网可选）
遥控电源控制	可选
显示器
型号	1/4VGA320x240活性点阵彩色LCD
图象	速率,偏差,功率或全屏数字
综合
电源	100-240伏交流,50/60Hz,25瓦
遵守标准	CE
Windows® 软件	内含
外壳/安装	51/4”½ - 机架