NNS-XY700Z200-01 超大行程XYZ三维纳米定位平台
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三英精控（天津）仪器设备有限公司
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NNS-XY700Z200-01是一款高精度超大行程三维纳米定位平台，闭环行程可达700/700/200μm，闭环分辨率 5/5/3nm。
典型应用
• 显微成像 • 激光加工
• 表面检测 • 光学测量 • 半导体加工
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