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CS-8000 系列半导体曲线示踪仪是所有过程表征的理想选择,具有多种单元的组合,并与下一代半导体测量兼容。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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CS-8000系列主要规格 | ||||
主机型号名称 | CS-8020 | CS-8200 | CS-8500 | |
高压机组 | ||||
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峰值电压(电流) | ― | 2kV (20mA) | 5kV (8mA) | |
测量电压范围(满刻度) | ― | 2kV 至 50V | 5kV 至 50V | |
测量电流范围 | ― | 20mA 至 50uA | 20mA 至 50uA | |
最小测量电流分辨率 | ― | 250 毫安 | 250 毫安 | |
波形 | ― | 直流/脉冲 | 直流/脉冲 | |
中压单位 | ||||
峰值电压(电流) | 200V (1A) | |||
测量电压范围(满刻度) | 200V 至 200mV | |||
测量电流范围 | 2A 至 5nA | |||
最小测量电流分辨率 | 250 毫安 | |||
波形 | DC (200 mA)、脉冲 (2 A)、SIN、半波、全波 | |||
门单元 | ||||
峰值电压(电流) | 40V (1A) | |||
测量电压范围(满刻度) | 50V 至 1V | |||
测量电流范围 | 1A 至 5nA | |||
最小测量电流分辨率 | 250 毫安 | |||
波形 | 直流/脉冲/正弦波 (50 赫兹) | |||
标准配件 | 电源线、控制接口端接器、使用说明书(小册子+CD) |
HC 单元型号名称 CS-205 CS-210 CS-220 峰值电流(电压) 500A (50V) 1,000A (50V) 2,000A (50V) 测量电压范围(满刻度) 50V 至 200mV 50V 至 200mV 50V 至 200mV 测量电流范围 500A至5A 1,000A 至 5A 2,000A 至 5A 波形 脉冲
(10 μs 至 1 ms 宽度) 脉冲
(10 μs 至 500 μs 宽度) 脉冲
(宽度 10 μs 至 500 μs) 标准配件 电源线、HC-FIXTURE连接装置、使用说明书
* 使用 HC 装置时,需要单独的检测电缆。
测试治具型号名称 | CS-320MV(即将推出) | CS-322HV/HC |
标准配件 | 电源线、标准导线组(CS-005 7 件套)、使用说明书 | |
― | 高压/高压电缆 (2) |
*连接测试夹具时,需要单独的电缆。
■ 电缆套件(连接测试夹具和 HC 单元时使用。) | ||
电缆组名称 | 型号 | 产品名称 |
CS-020 MV标准电缆组 (CS-320 的推荐设置) | CS-026 | 7 根三轴电缆 (L=1.0 m) |
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CS-027 | 1 条控制接口电缆 (L=1.0 m) | |
CS-028 | 1 联锁/感应电缆 (L=1.0 m) | |
CS-021 高压标准电缆组 (CS-322 的推荐设置) | CS-025 | 2 根高压电缆 (L=1.0 m) |
CS-026 | 7 根三轴电缆 (L=1.0 m) | |
CS-027 | 1 条控制接口电缆 (L=1.0 m) | |
CS-028 | 1 联锁/感应电缆 (L=1.0 m) | |
CS-022 HC 标准电缆套件 (HC 单元的推荐设置) | CS-027 | 1 条控制接口电缆 (L=1.0 m) |
CS-028 | 1 联锁/感应电缆 (L=1.0 m) |
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