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产品简介:
采用压电自感应探针的原子力显微镜(AFM),创新产品、品质。实现形貌成像分析、谱曲线测量等功能,免激光调节、操作简单。推荐教学教育领域。
仪器特点
采用基于石英音叉的压电自感应探针,如Akiyama探针。
测量成像无需激光检测,操作简单,原理清晰,可快速完成实验。
支持频率调制模式的形貌成像和力梯度-距离曲线等测量分析功能。
采用高精度嵌入式测控系统,主机隔音抗震设计,抗干扰能力强。
内部空间足够安装高倍光学物镜,方便与光学显微镜适配。
可通过选配模块和扩展接口增强系统功能。
Akiyama自感应探针
主要技术参数
一键式快速自动进样,行程23mm,最小步距50nm。
手动调节样品检测位置,调节范围±10.0mm。
样品尺寸的直径20mm,厚度20mm。
标配管型扫描器,扫描范围约为20μm×20μm×5μm。
样品逐行扫描成像,扫描成像速率0.1-30行/秒。
一次扫描多幅图像,图像分辨高达1024×1024物理象素。
自感应探针采用频率调制模式,数字化PID反馈控制的响应时间为10μs。
嵌入式测控系统采用主频为450MHz的双核处理器(ARM + DSP),内置数模混合结构的锁相放大器,与上位机连接采用以太网TCP/IP通讯协议。
适配光学显微镜物镜的最短工作距离仅需9.5毫米。
标准配置:
主控制器
主机底座及隔音罩
主机探头及探针架(A型)
手动样品调节台(调节范围±10.0mm)
管型扫描器(扫描范围20μm)
计算机及专用测控软件
仪器附件
A型探针架(WinSPM A-Probe)
选配模块:
扫描隧道显微镜(STM)模块,包括:扫描隧道显微镜的硬件与软件、STM探针架(WinSPM T-Probe)
纳米加工模块,包括:图形化纳米加工、机械刻蚀、矢量扫描等功能
辅助观察光学显微镜系统:物镜倍数:0.7X~4.5X;总放大倍数:42-266X连续可调(14”有效显示面积);工作距离:115mm
管型扫描器模块:扫描范围有8μm、20/30μm和100μm共3种规格
应用领域及实验
实验一:原子力显微镜基本原理与操作,典型的应用领域为教学教育行业,包括:大学物理演示实验,中学纳米科技创新实验。
实验二:原子力显微镜形貌成像及分析,典型实验内容包括:软磁盘或光盘等常规样品形貌成像及分析、光栅样品的形貌成像及关键尺寸测量、纳米台阶的测量分析。
实验三:谱曲线测量与纳米力学实验,典型实验内容包括:力梯度-距离曲线的测量分析、液体膜厚度的测量与分析。
实验四:扫描隧道显微镜(STM),包括形貌成像和隧道谱。(需增配STM模块)
实验五:纳米加工实验,如图形化纳米刻蚀实验。(需增配纳米加工模块)
实验六:与高倍的光学显微镜或光谱仪器的联用,如与光学显微镜联用可实现从微米级到纳米级分辨率的原位观察。(需增配与光谱仪联用模块)。
仪器整体照片 | 光栅形貌图(20×20μm) |