检测部采用了本公司独立开发的称为「μF传感器」的热式流量传感器，是搭载有高级执行器控制技术的气体用质量流量控制器。

　　利用μF传感器的特长，实现了宽广流量控制范围的快速响应。

　　应用于工厂生产工序的玻璃、钎焊加工的火焰控制等以前的质量流量控制器控制困难的低压供给燃气的流量控制。

　　丰富的产品种类，扩大了可使用的应用范围。

　　■ 质量流量检测

　　与空气、燃气的使用温度、压力无关，可测量换算成标准状态下的流量。

　　(* 标准状态下的流量是指在1个大气压、0°C(或20°C)时的体积流量。)

　　■ 宽广的检测范围

　　相对于测量流量的低流量区域，一般的气体流量计都难于检测，通过搭载μF传感器，可实现宽广范围的测量、控制。实现了质量流量计CMS的可调比100：1、大流量质量流量计CML的可调比160：1(测量范围为1,280：1)的高可调比!

　　于空气及燃气的使用量的管理、及节能的漏气管理。

　　■ 快速响应

　　细微、热容量非常小的MEMS传感器直接与气体接触进行检测，实现了快速响应。

　　■ 低圧损构造

　　μF传感器设置在流路的壁面上，具有低压力损失的特点。于低圧气体流量的检测、控制。

　　■ 高精度

　　μF传感器随时间的特性变化非常小，能长期保持高精度。

　　■ 各种功能

　　通过控制机器积累的微电脑的技术，搭载了以前的质量流量计没有的各种功能。

　　瞬时/累积流量显示、燃气种类切换功能、上下限报警输出、模拟输出、累积脉冲输出、通信功能等　(* 因产品而异)

　　■ 种类丰富的产品

　　根据使用用途，备有从5mL/min型号到500L/min型号的宽广流量区域的产品。