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无尘车间(无尘室)不同级别空气洁净度的空气过滤器的选用、布置要点:对于300000级空气净化处理,可采用亚高效过滤器代替高效过滤器;空气洁净度100级、1000级、10000级及100000级的空气净化处理,应采用初、中、高效三级过滤器;中效或高效空气过滤器宜按小于或等于额定风量选用;中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节的正压段;高效或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统的末端。
适用范围:
电子行业无尘车间是洁净度在10万级标准以上的洁净工程车间,主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部必须保持正压状态。电子无尘车间适用于电子、微电子、半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造等,具体应用在精密仪器、手机背光源、芯片生产、集成电路、磁盘制造车间、显示屏等行业。