PMF半导体节能系列

PMF半导体节能系列

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2023-12-13 13:46:25
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晟弘节能科技（上海）有限公司

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产品简介

PMF半导体节能系列

详细介绍

产品型号
及名称
真空泵
Vacuum pump
用途
Semi conductor,Load Lock,TFT-LCD,Touch Panel,Solar,Coating,Plasma Process,Drying Process,Degassing.
特点
特点 Features
l   低电能消耗
Lowest Power Consumption
l   节能模式的应用降低整体功耗
Idle saving mode applied to save total power Consumption
l   体积小，重量轻
Small size,light weight and easy installation
l   节省了安装空间
Saving space for installation site
l   半导体干净制程的
Best choice for semiconductor light processes
技术指标
Model
Unit
PMF100
PMF120
PMF612
Pumping Speed
L/min
1666
1933
10000
m³/hr
100
116
600
cfm
59
69
353
Ultimate Pressure
Torr
≦7.5×10-3
≦7.5×10-3
≦7.5×10-4
mbar
≦1×10-2
≦1×10-2
≦1×10-3
Motor
Voltage
V
220V/380V
220V/380V
220V/380V
Rated Power
Kw
2.2
2.2
2.2+2.2
Connection
Inlet
NW50
NW50
ISO80
Outlet
NW25
NW25
NW40
Cooling Water Dim.
Pressure
kg/cm²
2.0-4.0(△P＞1kg/cm2)
2.0-4.0(△P＞1kg/cm2)
2.0-4.0(△P＞1kg/cm2)
Min.Flow
L/min
1
1
1
Temp
℃
20℃ 2 L/min～30℃ 5L/min
20℃ 2 L/min～30℃ 5L/min
20℃ 2 L/min～30℃ 5L/min
Comection
RC1/4"
RC1/4"
RC1/4"
L×W×H
mm
450×230×275
450×230×275
530×230×520
Weight
kg
60
60
120
Nosice
dB
60
60
60
Ultimate Pressure Power
Kw
0.39
0.44
0.5
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