KW-5型台式匀胶机

中国半导体行业协会CSIA推荐中国 SIYOUYEN?

台式匀胶机：（Spin Coater)适合半导体硅片的匀胶镀膜等其用途广泛包括适合半导体大型晶圆硅片,芯片,晶片,基片,液晶片,华阳板等各种胶体的工艺制版表面涂覆或光刻工艺匀胶。

详细介绍： 匀胶机(英文名：Spin Coater)

行业俗称:匀胶台,甩胶机,涂胶机,镀膜机,涂层机,旋涂机,旋涂仪等。

型号MODEL KW-5型

产品概述:

SIYOUYEN品牌KW型匀胶机适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆.

匀胶机稳定的转速和快速的启动,可以保证半导体中胶厚度的一致性和均匀性,这正是KW型均匀胶机的特点.

该机在这方面采取了许多措施:

(一)该设备采用,采用进口配件(韩国定子和转子，美国电机）

(二)定子和转子分开供电.定子用稳定电源供励磁电流,转子用开关电源调速,它比可用控硅调速优越得多,转速在1000~5000转/分范围内非常稳定.

(三)本匀胶机有两个转速.在启动之后,先以低速运转,使胶摊开,然后自动变到高速运转.两种转速及相应的时间分别可调.

(四)本匀胶机测速采用光电的办法,在光电测速盘的边上有三个缺口,(反射带和吸收带)分布于盘的周围，盘边的下面安装有光电开关,光源照到光电经反射到接收器,产生光电脉冲,测速盘旋转一周,产生三个脉冲.闸门由秒脉冲电路产生,周期为两秒.当马达旋转时,如果计时器在2秒内计的得数是n,则每分钟应该转了n/(2x3)=n/6转,每分钟旋转(n/6)x60=10n转.故计数器就是每分钟转速,只不过差一个数量级.

(五)"吸片"采用电磁阀控制气路,这样适合流水线的工艺,一个气泵可同时带几个匀胶机工作,提高了效率.

(六)匀胶机的定时功能由时基电路556来完成,把556按单稳形式连接,改变RC常数,就可以改变两个匀胶时间.

(七)智能型调节匀胶时间,时间分别控制在1~18秒和3秒~1分钟.

(八)在安装结构上,采取了减振措施,保证了在运转时噪音很低,保证涂覆表面均匀,保证通过调节转速调节涂覆厚度.

(九)匀胶机配真空泵使用（KW-5型匀胶机 推荐使用双级无油环保真空泵 SML-140型）

1,特点是双转速匀胶机,两档转速及匀胶时间分别连续节,在启动后先低速运转,经几秒钟后转换到高速运转.

Ⅰ档 调速范围：500 -1000转/分 Ⅰ档 匀胶时间：2-18秒

Ⅱ档 调速范围：1000-5000转/分 Ⅱ档 匀胶时间：3-60秒

2,进口转子,稳定性能更好,转速调节以数字显示为准.

3,LED数字显示,转速稳定度：±1% ,胶的均匀性：±3% .

4,三相电源：380V

5,电机功率：180W

6,适用：Φ100-Φ200mm（4”~~8”）硅片及其它材料等匀胶.

7,真空泵抽气速率 ≥1200升/分

8,设备尺寸：500×500×460 mm