东莞芳汇鑫科技有限公司

一、半自动贴膜机概述

本机为本公司自行研发生产的半自动贴膜机（型号为WKM系列），尺寸分别为6寸、8寸、12寸等（可定制），适用于晶圆、半导体、陶瓷、玻璃等产品贴膜使用。

半自动晶圆贴膜机是一种用于贴膜处理的设备，专门用于将薄膜材料***地贴合在晶圆表面上。它结合了手动操作和自动控制的特点，提供了更高的贴膜精度和效率，同时保持了操作的便利性。东莞芳汇鑫科技

半自动晶圆贴膜机适用于各种晶圆尺寸范围，能够处理小尺寸到大尺寸的晶圆。它采用***的贴膜技术，确保薄膜与晶圆之间的紧密贴合，以保护晶圆表面免受污染、氧化或其他损伤。贴膜过程可根据需求自动或半自动进行，提供了灵活的操作选项。

二、本机主要特点：

1.适用于BG膜、UV膜、蓝膜；

2. 12寸和8寸兼容，可共用一台主体，只需更换台盘；

3. 操作便捷，刀片切割位置可调；

4. 贴膜无裂片，表面无气泡，边缘无毛刺，无其它异常；

5. 主体部分为不锈钢、铝合金制作，质量可靠，性能稳定；

6. 贴膜精度高且稳定；

7. 操作简单，易懂易会；

8. 本机外表美观、坚固可靠、性能、价格实惠，能为广大客户大大提高生产效率。

三、规格参数

晶圆尺寸

适用8”& 12”晶圆

晶圆厚度

100～750微米

晶圆种类

硅, 砷化镓或其它材料

膜种类

BG膜、蓝膜或者UV膜（粘着力≤8N/20mm）

宽度：210~400毫米

长度：50米&100米

厚度：0.05~0.2毫米

晶圆承载环

8”\12”DISCO标准或国产标准（按用户标准 定制）

贴膜原理

防静电滚轮贴膜，滚轮压力可调

贴膜动作

自动拉膜和贴膜

晶圆台盘

特氟龙防静电涂层接触式台盘(可定制12寸兼容8寸台盘)

台盘可加热：室温~100℃

台盘手动升降

装卸方式

晶圆/承载环手动放置与取出

防静电控制

防静电特龙隆涂层晶圆台盘/防静电贴膜滚轮/除静电离子风机

切割系统

手动轨迹式圆切刀和直切刀

定位方式

晶圆气动销定位/承载环弹簧销定位

控制单元

基于PLC 控制，带触摸屏

安全防护

配置紧急停机按钮

电源电压

单相交流电220V,10A

机器外壳

白色喷漆金属外壳

体积

长1340*宽650*高366mm

净重

170公斤

四、贴膜流程示意图

五、东莞芳汇鑫科技技术有限公司半自动晶圆贴膜机具有以下功能和优势：

1，贴膜精度：半自动晶圆贴膜机采用***的贴膜技术和***的对位系统，能够实现高精度的贴膜操作，确保膜材与晶圆的准确对位和贴合。

2，晶圆尺寸适配性：半自动晶圆贴膜机适用于各种晶圆尺寸范围，能够处理小尺寸到大尺寸的晶圆，提供了灵活的使用选项。

3，操作便利性：设备配备用户友好的操作界面和控制系统，使操作人员能够轻松掌握并操作设备，减少操作员的培训成本和学习难度。

4，自动/半自动模式：半自动晶圆贴膜机可以根据需求进行自动或半自动的贴膜过程。自动模式下，晶圆贴膜过程可设备自行控制，提高生产效率；半自动模式下，操作人员可以根据需要参与部分操作，提供了更灵活的贴膜选择。深圳沃客密科技。

5，高效率：半自动晶圆贴膜机能够快速完成贴膜任务，提高生产效率，缩短贴膜周期，适用于需要高效处理小批量晶圆的情景。

6，安全性：设备配备了安全传感器和紧急停机按钮等安全特性，确保操作过程的安全，并减少操作人员的潜在风险。

7，配件和附件：半自动晶圆贴膜机可以配备各种配件和附件，例如贴膜刀具和贴膜材料，以满足不同的贴膜需求。

8，可靠性和稳定性：设备设计经过严格的工程和质量控制，具有良好的可靠性和稳定性，可长时间稳定运行，减少设备故障和维修成本。

综上所述，半自动晶圆贴膜机通过其高精度的贴膜操作、晶圆尺寸适配性、操作便利性和安全性等特点，成为晶圆生产和加工过程中一项重要的设备选择。它能够提高贴膜的质量和效率，为晶圆制造和半导体行业提供可靠的解决方案。

六、半自动贴膜机应用领域

1，半导体制造：半自动贴膜机在半导体制造中扮演着重要的角色。它用于对晶圆进行贴膜保护，以防止化学污染、氧化或其他表面损伤。贴膜帮助保护晶圆上的敏感电路，并提高其性能和可靠性。

2，平板显示器制造：半自动贴膜机在平板显器制造中起到关键作用。它用于将透明导电膜、光学层或其他功能层贴合在液晶面板或有机发光二极管（OLED）面板上。这些层对于显示器的性能和图像质量至关重要。

3，光伏产业：半自动贴膜机也常用于太阳能电池板的制造过程中。它用于将各种功能层（如抗反射涂层、防尘层）贴附在电池板表面，以提高太阳能的吸收效率和电池板的性能。东莞芳汇鑫科技。

4，生物医疗：在生物医疗领域，半自动贴膜机可以用于制备生物芯片、生物传感器或贴膜。这些膜层可以提供生物兼容性、防腐蚀性或其他功能，以支持医疗诊断、分析和***。

5，其他应用领域：半自动贴膜机还可以应用于其他领域，如光学元件制造、传感器制造、电子组件制造等。它们可以在这些领域中实现***的膜层贴合，以满足特定的功能和性能需求。

晶圆表面贴膜机，UV膜蓝膜通用半自动FHX-MT

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