高频感应加热设备

• 工作电压:   三相380VAC 50Hz   (需60A空气开关）
• 输入功率:   25KW
• 震荡频率: 30 - 80 kHz
• 循环比: 80%
• 感应线圈: 150mm(OD) x 140mm(ID) x 90mm(H)
• 保护系统：带有自动水压、过热、功率过高保护
• 耐火材料：配有多块采用氧化铝制作的耐火材料，用于支撑石墨坩埚，和防止热量辐射

温度控制器& 热电偶

• 工作电压: 208~240V AC, 单相
• 采用PID方式控温 ，可设置30段升降温程序
• 设备带有过热和断偶保护功能
• 控温精度：+/- 3 ºC
• 采用C型热电偶,探头伸入到石墨坩埚内
• 长期使用温度：1900ºC
• 工作温度：2000ºC（＜5小时）
• 升温速率:
  10ºC/second (1000ºC-1200ºC)
  8ºC/second (1200ºC~1500ºC)
  3ºC~6ºC/second (1500ºC~2000ºC)

石墨坩埚和耐火砖

• 高纯石墨坩埚: 50mm(OD)×40mm(ID)×110mm ,坩埚是用来感应加热和熔化金属
• 容量：样品所占容积应该是石墨坩埚容积的1/2
• 可选:为对晶片热处理，可定制石墨样品台，可放置晶片尺寸为1.5'' O.D x 1/8'' T，因为石墨导热率非常高，所以可使放置的晶片受热均匀
  
• 保温层：石墨坩埚外环绕三层隔热材料，从里到外分别为石墨毡—氧化铝—高温毡，总厚度为32mm，石墨保温毯（可耐温2200℃）氧化铝毯（耐温1700℃）

密封法兰与石英管

• 顶部法兰: 采用不锈钢折叠式法兰，带有一1/4＂的铠装接口（可插入热电偶到石英管内部更准确地测量样品温度）法兰上安装有不锈钢截止阀

• 底部法兰:底部法兰接口为KF25接口，可通过波纹管与真空泵相连接。

• 石英管尺寸：130mm(OD) x 122mm(ID) x 360mm(L)
• 仪器中配有KF25挡板阀和KF25*1000mm的波纹管，以便与真空泵相连接
  

防腐型真空计（可选）
 

当气压在10mbar以上时，不需因测量气体种类不同而进行系数转换，量程可到3.8x10E-5 torr

循环水冷机
 

• 温度范围: 5 - 30°C
• 水流速： 16L/min
• 水箱容积: 12 Liters 采用不锈钢制作
• 水压≥0.1MPa，流量≥5L/Min
• 注: 本公司建议使用专用的冷却液作为冷却介质

真空泵
 

• 仪器中配有一2L/S的双极旋片机械泵，使管内的真空度达到10e-2 torr

• 工作电压AC 208 -240V, 单相

移动炉架
 

• 结构: 钢框架结构
• 800mm×600mm的移动炉架可方便移动电感应加热器和带有法兰的石英管

产品尺寸
 

• 感应加热器:520mm x 520mm x 450mm
• 水冷机组: 460mm x 475mm x 762mm
• 移动炉架： 600mm(L) x 800mm(W) x 597mm(H)

质保期

一年质保期，终身维护，不包括石英管、硅胶密封圈和石墨坩埚损耗件）

注意

• 为了保护石墨坩埚和C型热电偶，要不断通入惰性气体
• 请点击这里了解感应加热的原理
• 如果您对感应加热和熔炼的东西不了解，可以咨询我们的工程师
• 此设备可改为RTP（快速热处理炉）和混合物理化学气相沉积（HPCVD）系统，请点击下面的图片查看，如您有任何特殊需求可联系我们
  

净重

120Kg