工作温度

• ≤1000 ℃（连续工作）
• 1100℃（极限温度，工作时间小于30分钟）

升温速率

• 升温速率：20℃/ min
• 建议升温速率：10℃/ min

加热元件

Ni-Cr-Al 电阻丝，可加热温度1200℃

腔体尺寸&有效加热区尺寸

• 石英腔体: Φ200x 340mm
• 有效加热区: Φ190x216mm(7.6L)
• 恒温区: Φ100x 89mm 炉膛中心位置± 5℃
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温度控制器

• 采用30段可编程数字温度控制器，可精确控制升温速率、降温速率和恒温时间.
• 注意: 如需实时监控设备运行情况或记录整个程序过程建议您另外选购一套高温炉控制软件. 如您在购买产品时一起订购控制单元，我们在设备出厂前将会把通讯软件安装调试完毕。客户收到货物时只需按照使用说明书将控制软件安装于自己电脑即可使用。

恒温精度

± 2℃

密封法兰 (安装有铠装)

• 不锈钢密封法兰上安装有2个1/4英寸的铠装孔
• 一个1/4英寸的进气孔，可向石英腔体中连续通入气体。可选购一根石英管（Φ6.35mm）直接将反应气体通入到样品处
• 可选购一根1/4英寸的铠装热偶，通过铠装孔伸入到样品附近来测量样品的真实温度
• 配有一块氧化铝泡沫陶瓷管堵和石英平台
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可选

• 可选购石英管堵，能提高腔体的洁净度，可帮助获得更高的真空度
• 可选购4电极（铂丝），用于测量样品在高温环境下的阻值
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极限真空度

真空度主要取决于真空泵、连接管、耐火材料等。通过KFD25、不锈钢波纹管和KF25挡板阀,炉腔真空度如下:

• 没有加装绝热门堵时机械泵工作30分钟内真空度能达到10 mtorr（10-2torr）。
• 加装绝热门堵时机械泵工作30分钟内真空度能达到60mtorr（6x10-2torr）注意石英炉堵需在900℃时预热一下。

可选:

• 如您想获得更高的真空度(<10-5torr)可选购
• GZL-103德国进口分子泵机组
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气体流量控制系统

• 一个进气接口 (1/4"卡套接头) 及精密针阀( 如左图)
• 可通入惰性气体或还原性气体 (注意: 我司并不推荐我们的产品在恶劣的环境中使用。如在恶劣环境中使用造成的损害,我司不承担责任。如果你打算使用氢气，我们建议谨慎的做法是把炉体放入通风柜内部使用)
• 腔体内压力因＜1.2 atm
• 你可以选择气体流量控制系统,来控制气体混合比例或是流量大小
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水冷

• 设备所采用的法兰为水冷法兰，保证密封性，使用时必须通入冷却水。可在本公司选购循环水冷机
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真空压力表

• 安装有一机械压力表，测量范围为-0.1～0.15MPa
• 可选购数显防腐真空计当气压在10mbar以上时，不需因测量气体种类不同而进行系数转换，测量范围为3.8x10-5 -1125 Torr
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温控系统

• 采用PID方式调节温度
• 可设置30段升降温程序
• 带有超温和断偶保护
• 控温精度为+/- 1℃
• 面板上安装有RS485通讯接口
• 可选购MTS02-Y控温模块，可用电脑设置和显示温度程序
• 可选购欧陆3504控温仪表
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外形尺寸

• 510 x 435 x 425mm
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净重

80 kg

保修期

整机保修一年，维护（不包含密封圈，石英腔体和加热元件）

警告

• 此水平坩埚炉的石英腔体是设置在真空或常压状态下使用，腔体内的相对气压需<0.02MPa
• 通气的气瓶上必须安装双极减压阀，可在本公司选购减压阀
• 不可在阀门全部关闭的状态下，对炉体进行加热，以防止石英腔体内达到正压环境损坏腔体。要时刻关注真空压力表数值，一旦气压显示超过0.02MPa(相对气压)，要立刻打开泄气阀泄压。
• 如设备工作温度超过1000℃时，石英腔体不可处于真空状态，要通入气体保证石英腔体内处于常压环境。
• 进气流量需小于200 SCCM( 200ml/min )