双面对准曝光机
產品簡介: 对于无法正常正面对位之制程,可以采用背面对位方式来对位, 双面对准曝光机包含有正面对位及背面对位两套对位影像系统。 参考价面议双面曝光曝光机
產品簡介: 双面曝光曝光机采用上及下两组曝光源,欲曝光机基板夹于上下光罩之间同时曝基板上下两面,对双面制程之基板之产能, 能两倍于单面曝光制程。 参考价面议全手动光罩对准曝光机
產品簡介: 全手动操作,每一个动作可单独操作,适合实验室研究使用或量产前制程开发使用。 参考价面议桌上型曝光机
產品簡介: 保有全手动之完整功能, 取消手动机下方之机架以及后方之箱体,做最简化之设计, 适合预算不多之客户 。 参考价面议半自动光罩对准曝光机
產品簡介: 用PLC程式控制,使多个手动动作能连动,减少手动操作的程序,系统简单,性能可靠,适合量产线使用。 参考价面议全自动光罩对准曝光机
產品簡介: 全自动机型之晶圆传送为自动输入与输出, 自动对位曝光,可一天24小时操作,减少人力需求,提高可靠性,增加产量, 本公司开发之高产量全自动曝光机, 对位制程每小时可产出250片以, 无对位制程每小时可产出350片以上, 产量为业界,两倍于其他厂牌机型。 参考价面议