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KS-S300 12寸 星型涂胶显影机
KS-S300涂胶显影机可用于封装、MEMS、OLED等领域的涂胶显影制程,每小时可加工100片晶片,同时产品可兼容不同材质的晶片如硅、玻璃片、键合片、化合物等。产品可应用于逻辑类、存储类芯片、摄像头芯片、功率器件芯片、OLED制造等领域。曾获得辽宁省优秀新产品二等奖,辽宁省科学技术奖二等奖。产品通过SEMI S2认证。 参考价面议KS-C300 12寸 集束型涂胶显影机
KS-C300涂胶显影机可用于封装、 MEMS、OLED等领域的涂覆显影制程,每小时可加工180片晶片,同时产品可兼容不同材质的晶片如硅、玻璃片、键合片、化合物等。产品可应用于逻辑类、存储类芯片、摄像头芯片、功率器件芯片、OLED制造等领域。国产化集成电路设备的成功应用为客户节约了大量成本。产品通过SEMI S2认证。 参考价面议KS-FT200/300 前道8/12寸涂胶显影机
KS-FT200/300系列堆叠式高产能前道涂胶显影机,为我司自主研发的突破晶圆前道28nm工艺节点及以上工艺制程,适用于ArF、KrF、I-Line、PI、BARC,SOC,SOD,SOG等多种材料涂覆显影工艺的机台。支持与光刻机联机作业。该系列机台通过各种行业认证,占地面积小、可靠性高、易于维护,满足各种功能芯片制程需求。 参考价面议