性能优势：
下照式设计：可以快速方便地定位对焦样品。
无损变焦检测:可对各种异形凹槽进行无损检测，凹槽深度范围0-90mm。
微聚焦射线装置：可检测面积小于0.002mm2的样品，可测试各微小的部件。
高效率的接收器：即使测试0.01mm2以下的样品，几秒钟也能达到稳定性。
EFP*算法软件：多层多元素，甚至有同种元素在不同层也难不倒EFP算法软件。
仪器规格：
外形尺寸 ：550 mm x 660mm x 470 mm （长x宽x高）
样品仓尺寸 ：500mm×660 mm ×215mm （长x宽x高）
仪器重量 ：55kg
供电电源 ：交流220±5V
功率 ：330W
环境温度：15℃-30℃
环境相对湿度：<70%
