规格参数

LZ3020CNC-H

LZ4030CNC-H

LZ5040CNC-H...

XY行程

300*200

400*300

500*400...

工作台

调焦行程(mm)

Z轴:200mm

传动形式

X/Y/Z轴进口THK精密线性导轨搭配进口THK研磨级滚珠螺杆

影像系统

摄像机：LZ 1/1.8″CCD 高清数字相机 摄像机放大倍率30-230X

原装全自动连续变倍镜头：高清变倍镜头//连续放大倍率0.7--5.0X

光源系统

多色灯 表面光源与透射光源LED冷光源+同轴光源、寿命长、亮度可调

伺服驱动

X/Y/Z三轴台达高性能闭环伺服电机，双重闭环控制系统

线性精度

金属贴片光学尺 分辨率：X/Y/Z轴0.0001mm（0.1um）

测量精度：≤1.5um+L/200 重复精度：≤1.5um+L/200

激光测量系统

基恩士激光测量传感器 LK-G30 工作距离：30mm 测量范围：±5mm（选配）

探针测量系统

英国雷尼绍φ1mmφ2mm（选配）