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一、射频发生器
电 路 类 型 | 他激式固态射频发生器，由两只金属氧化物场效应管MOSFET管组成的推挽放大电路，全自动点火，全自动匹配调谐，计算机实时监控，全自动化自动控制。 | 工作频率 | 27.12MHz±0.05% |
频率稳定性 | <0.01% | ||
输出功率 | 800－1500w | ||
输出功率稳定性 | ≤0.1% | ||
电磁场泄漏射强度 | 距机身30cm | ||
电场强度E | <1V/m | ||
磁场强度H | <0.2A |
二：进样系统
输出工作线圈内径 | 25mm， 3匝 | 炬管 | 三重同心石英炬管 |
同轴型喷雾器外径 | 6mm | 双筒形雾室外径 | 35mm |
氩气流量计规格和载气压力表规格 | 等离子气流量计（100-1000）L/h ；(1.6-16L/min) | ||
辅助气流量计（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min) | |||
载气流量计（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min) | |||
载气稳压阀（0-0.6M Pa） | |||
三、测光系统
光电倍增管规格 | R212UH | 信号采集为V/F交换 | 1mV对应100Hz |
光电倍增管负高压 | 200-1000V 稳定性<0.05% | 光电倍增管电流测量范围 | 10-12 -10-4A |
三、分光系统
光路 | Czerny- Turner | 焦距 | 1000mm | |
光栅规格 | 离子刻蚀全息光栅 | 刻线密度 | 3600线/mm | |
分辨率 | ≤0.008nm | 刻线面积 | 80×110mm | |
示值误差 | ≤±0.03nm | 波长范围 | 180-500 nm | |
透镜 | ф30，1：1成像 | 入射狭缝 | 20μm | |
发射镜规格 | （78× 105 × 16）mm | 出射狭缝 | 20μm | |
步进电机驱动最小步距 | 0.0005nm | |||
