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用途:测量纳米尺度的硬度与模量，可以用于研究或测试薄膜等纳米材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性。应力-应变曲线、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。
型号:Hysitron TI 980 Tribolndenter、Hysitron TI PremierHysitron TS 77 Select等
基本参数:
●温度腔:零下150°C至高于800℃，湿度控制:可达80%R.H
●温漂(<0.05 nm/s)，力噪音<20 nN，位移噪音<0.1 nm
●控制器反馈速率78 kHz，采样速率38 kHz
●原位SPM定位功能具有水平方向<+10 nm的定位精度
●压头与样品台之间超过50 mm距离
功能模块:
基本功能:纳米压痕、纳米划痕，摩擦磨损、原位SPM
高级功能:性能成像、纳米动态力学、空间力学分布、超快速测试
技术优势:
●的XPM快速压痕技术
●软件自带批处理功能，批量数据分析功能
●系统自校功能(针尖面积函数、传感器、光学系统等)
●多功能样品台
●超长探针设计，自动探针更换等
