深紫外探测器

深紫外探测器

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2022-12-16 12:49:13
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产品简介

深紫外探测器

详细介绍

深紫外探测器

美国IRD公司,专门制造用于探测紫外、深紫外、真空极紫外和软X射线光子的探测器。IRD公司是目前能够制造并商用的用于检测VUV、EUV检测的Si探测器生产厂家。可用于紫外、深紫外的探测器有两大系列:

  • UVG 系列:更加适合于130nm -1100nm 光相关的检测,可集成制定波长窄带滤光片
  • SXUV系列:适用于高光通量的场合,如UV/EUV脉冲辐射、准分子激光等,脉冲能量密度超过0.1 µJ/cm2。可集成制定波长窄带滤光片。
  • AXUV系列主要用软X射线、极紫外、X射线、低能离子等辐射探测。详见辐射探测系列探测器.
光谱响应曲线
UVG系列技术参数(22摄氏度):

Sensitive Area (mm^2)

Size (mm)

Package Type

Shunt Resistance (M-Ohm)

Dark Current at 50V

Capacitance at 0V

Risetime (10-90%)

100

10 X 10

Ceramic

100

*

20 nF**

10 µSec**

330

22 X 15

Plastic

20

*

40 nF**

15 µSec**

20

5 Ø

TO-8

1000

*

4 nF**

2 µSec**

20

5 Ø

TO-8

1000

*

4 nF**

2 µSec**

20

5 Ø

BNC

1000

*

2 nF**

2 µSec**

20

5 Ø

Ceramic

100

*

5 nF**

1 µSec**

20

5 Ø

Ceramic

100

*

5 nF**

1 µSec**

12

4 Ø

TO-5

1000

*

2 nF**

2 µSec**

10

10 X 1

Ceramic

1000

*

2 nF**

2 µSec**

12

4 Ø

TO-5

1000

*

2 nF**

2 µSec**

5

2.5 Ø

TO-5

1000

2 nA

200 pF

< 2 nSec

5

2.5 Ø

TO-5

1000

2 nA

200 pF

< 2 nSec

576

24 X 24

Metal

10

*

100 nF

50 µSec**

#

.05

.22 X .22

SMA

1000

100 pA

5 pF

.25 nSec

#

.05

.22 X .22

SSMA

1000

100 pA

5 pF

.25 nSec

.005

.07 X .07

SSMA

1000

50 pA

15 pF

80 pSec

.026

.16 X .16

SMA

1000

100 pA

150 pF

200 pSec

1

1 X 1

SMA

1000

200 pA

400 pF

700 pSec

.00063

.025 X .025

SSMA

1000

20 pA

15 pF

50 pSec

11 (X4)

7.6 Ø

Metal

100

*

2 nF

1 µSec**

1.25 (X4)

2.5 Ø

Metal

20

*

0.1 nF

0.5 µSec

SXUV系列技术参数

Sensitive Area (mm^2)

Size (mm)

Package Type

Shunt Resistance (M-Ohm)

Dark Current at 50V

Capacitance at 0V

Risetime (10-90%)

576

24X24

Metal

5

*

1000 nF*

2 µSec**

330

22X15

Metal

10

*

40 nF*

15 µSec**

330

22X15

Ceramic

5

*

40nF

15 µSec**

100

10 X 10

Ceramic

10

*

20 nF**

10 µSec**

100

10 X 10

Ceramic

10

*

20 nF**

10 µSec**

100

10 X 10

Cermaic

10

*

20 nF**

10 µSec**

100

10 X 10

Ceramic

10

*

20 nF**

10 µSec**

20

5.0 Ø

TO-8

100

*

4 nF**

2 µSec**

20

5.0 Ø

TO-8

100

*

4 nF**

2 µSec**

20

5.0 Ø

Ceramic

100

*

4 nF**

2 µSec**

20

5.0 Ø

Ceramic

100

*

4 nF**

2 µSec**

20

5.0 Ø

TO-8

100

*

4 nF**

2 µSec**

20

5.0 Ø

BNC

100

*

4 nF**

2 µSec**

10

1 X 10

C10A

400

*

1 nF**

0.6 µSec**

5

2.5 Ø

TO-5

200

20 nA

200 pF**

< 2 µSec**

5

2.5 Ø

TO-5

200

20 nA

200 pF**

< 2 µSec**


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