真空渗碳炉结构与井式气体渗碳炉类似，为圆形井式外壳密封焊接。由炉壳、炉衬、炉盖升降机构、真空密封风机、马弗罐及加热元件等组成。炉衬是由高纯陶瓷全 纤维保温结构，更加节能节电。渗碳炉升降机构上同样断电保护装置，当炉盖打开时自动切断控温柜主回路电源，渗碳炉停止工作，炉盖压紧关闭时自动接通回路， 渗碳炉才能开始工作，有效防止了安全操作事故。
真空渗碳炉是在真空容器中，利用辉光放电使渗碳气体电离，所产生的碳离子在电场作用下轰击炉料表面进行渗碳的热处理炉。
真空渗碳炉技术参数：
| 参数名称 | 单位 | 型号 | ||
| RQ3-220-9 | RQ3-320-9 | |||
| 额定功率 | KW | 220 | 320 | |
| 额定电压 | V | 380 | ||
| 频率 | Hz | 50 | ||
| 相数 | 相 | 3 | ||
| 温度 | ℃ | 950 | ||
| 工作温度 | ℃ | 0-940 | ||
| 料筐 | 直径 | mm | φ800 | φ1200 |
| 深 | mm | 1800 | 2500 | |
| 马弗罐 | 直径 | mm | φ980 | φ1380 |
| 深 | mm | 2400 | 3100 | |
| 空炉升温时间 | h | 3.5 | 4 | |
| 控温精度 | ℃ | ±1 | ||
| 装载量 | Kg | 2000 | 5000 | |
| 重量 | Kg | 7500 | 8900 | |