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安捷伦7500系列具有自动化的易于使用、可靠性以及设计，它提供了高水平的分析性能。新的7500系列可配备二代八级杆反应池(ORS)技术，提供多种选择的进样附件、更好的应用与维修服务支持，它正在使得实验室进入ICP-MS时代;
半导体工业常用材料中超痕量污染物分析：
固体：Si;GaAa单晶切片;石英、碳化硅等炉材料等
Agilent ICP-MS的高功率矩冷等离子体技术已被用于测定一系列ppt级痕量污染元素。
● 对其中一些样品，其他方法无法得到满意的结果，高功率矩冷等离子体技术是*一种分析方法。
● 强碱性清洗剂——四甲基氢氧化氨(TMAH)等
● 高基体样品——光刻胶、液晶、BPSG、PSG等挥发强的清洗剂
