产品简介
美国 MKS 真空计MKS流量计公司成立于 1961 年，是一家提供仪器、子系统和过程控制解决方案的供应商,可测量、控制、供电、监控和分析*制造工艺的关键参数，以提高工艺性能和生产率。 MKS流量计公司的产品源自我们在压力测量和控制、材料输送、气体成分分析、控制和信息技术、功率和反应气体生成、真空技术、光子学、激光、光学和运动控制等领域的竞争力。 我们主要服务的客户......
详细介绍
623A 压力传感器 产品分类：MKS真空计压力计 Baratron® 薄膜电容式压力传感器 (工作在室温) 622A 压力传感器，满量程范围：1 – 1000 Torr，精度：读数值的百分之0.15 626A 压力传感器，满量程范围：0.1–1000 Torr，精度：读数值的百分之0.15 623A 压力传感器 (带继电器触点控制)，满量程范围：10 – 1000 Torr，精度：读数值的百分之0.15 722A 紧凑型压力传感器，满量程范围:1 – 2500 Torr，精度：读数值的百分之0.5 i-Baratron® DMA 带DeviceNet™ 通讯口的数字压力传感器， 满量程范围： 0.1 – 1000 Torr，精度：读数值的百分之0.15。 计量单位：台 MKSE29E压力计传感器 产品分类：MKS真空计压力计 Baratron® 薄膜电容式压力传感器 (温度控制在45℃) 627B/629B 压力传感器，满量程范围：0.02 – 1000 Torr，精度：读数值的百分之0.12。 E27B/E29B Etch 专用压力传感器，满量程范围：0.02 – 100 Torr，精度：读数值的百分之0.12。 624B 压力传感器 (带继电器触点控制)，满量程范围：1 – 2000 Torr，精度：读数值的百分之0.12。 727A 紧凑型压力传感器，满量程范围：1 – 1000 Torr，精度：读数值的百分之0.5。 627C/E27C e-Baratron® 带以太网通讯口的压力传感器/ Etch专用压力传感器， 满量程范围： 0.1 – 1000 Torr，精度：读数值的百分之0.12。 i-Baratron® DMA 带DeviceNet™ 通讯口的数字压力传感器， 满量程范围： 0.1 – 1000 Torr，精度：读数值的百分之0.12。 D27B/D24B 双量程压力传感器/压力传感器 (带继电器触点控制)， 满量程范围： 1 – 1000 Torr，精度：读数值的百分之0.12。 计量单位：台 MPG400/MPG401冷阴极皮拉尼复合真空规 产品分类：MKS真空计压力计 NFICON的冷阴极和皮拉尼的复合真空规 MPG400和MPG401, 测量范围从 5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压).将两种测量方式组合在一个具有对数模拟输出的小型单元内,大大地降低了安装,设置和集成的复杂性. MPG400冷阴极和皮拉尼的复合真空规的详细介绍 优点： ■复合真空规—冷阴极与皮拉尼 ■宽的压强测量范围从5X10-9毫巴至大气压 ■无可烧毁的灯丝 ■的引燃功能 ■易清洗 ■FPM或金属密封的馈入件 ■高压加上时LED指示灯亮 ■对数模拟输出讯号 应用： ■高真空压强监测 ■蒸发和溅射系统的压强测量 ■一般真空测量和控制，从中至高真空范围 PSG500 Pirani /PSG502标准真空计 产品分类：MKS真空计压力计 简单介绍 INFICON的 Pirani 标准真空计 PSG500 和 PSG502-S 代表封装在坚固耐用小型管壳内的的Pirani技术.温度补偿提供快速与的真空测量并消除了对大气压强反应慢的问题. 坚固耐用的不锈钢传感单元更适用于半导体系统, 以及常规用途如前级真空管道中. PSG500 Pirani 标准真空计 特点： ■ 占空间小 ■ 任何方位安装 ■ 不锈钢测量单元的金属密封馈入件 ■ 化的温度补偿 ■ 易于集成的对数讯号输出 ■ 至10巴压力的高过压能力，用螺纹连接件 ■ 烘烤型在法兰处可达到250 °C ■ 易于更换的传感单元 应用： ■ 控制高真空电离真空计 ■ 前级真空压强监测 ■ 真空系统中的安全电路 ■ 在中真空和粗真空范围内的一般真空测量与控制 PCG400复合型真空计 产品分类：MKS真空计压力计 INFICON PCG400和PCG410型复合皮拉尼与电容膜片技术用于从5X10-4至1500毫巴（3.8X10-4至1125乇）精确度和可重复的压强测量。与对流增强型皮拉尼不同，PCG可任意方向安装，便于灵活地添加探头。
特点： ■任意方向安装 ■放空快速响应，缩短周期时间 ■快速与可靠的读值，无需大气压调节 ■单一对数/线性模拟输出讯号 ■易于工艺集成 ■小型结构，节省有价值的工艺空间
应用： ■自锁 ■前级压强监测 ■真空系统中的安全电路 ■在中真空和粗真空范围内一般测量与控制 ■控制高真空电离真空计
