日立扫描电子显微镜（SU3800）沿用了已 经经过验证的GU I界面。另外还搭 载了的SEM MAP, 而且相机导航系统提供超大视野导航，为操作人员提供更加贴心顺畅的操作体验。

配备了多功能超大样品仓，可以搭载多种 配件。而且也适用于直径 20 0 m m {SU3 800 )、可升级为直径30 0 m m {SU 390 0)的大型样品。

全更换样品

通过更换样品提示，可防止由于与样品的接触而损坏设备或样品。

自动调整

通过自动启动功能和自动光轴调节功能， 可以快速观察。

广角相机导航x

广角相机导航覆盖了大观测区的整个区域。

SEM MAP

您可以顺利找到目标观察物。

分析解决方案

除了—体化集成 EDS 功能气以外，还可与其他设备和软件联用。

Report Creator

可以将SEM /EDS/ SEM MAP 图像统一任意布局，根据需求个性化输出报告。

超多选配项

标配超大多功能样品 仓。可支持In -Si t u 分析。

· 通过鼠标操作，可实现直观的视野移动

通过点击或拖拽实时图像上的任意位詈，即可移动视野。可圈定实时图像上的任一位置，被圈定的位置可移动到视野并放大。

· 简单操作，如同触屏般直观

· 从移动样品台到样品观察 ，轻轻点击鼠标即可实现。

· 也可触屏操作。

· 主窗口为1,280x960 像素的大窗口。

· 可以切换显示模式 ，并且同时显示／拍摄两种不同的信号。

· 自动轴距调整功能

光轴调整以及更换灯丝之后所需 实施的各种调整工作已经实现了 自动化。由此能够抑制光轴和视野的偏差，从而再也无需依靠操作人员的技能如何，都可以重现性较好地获取高质量的数据。

配备了电子光学系统和检测系统的自动调整功能。放入样品并抽真空之后，通过自动启动功能可以实现图像自动调整，并在电子束照射后立即获取清晰的图像。

高度自动化功能采用全新设计的演算程序，在执行图 像自动调整功能时，等待时间缩短到以往的1/3以下。不需要繁琐的画像调整，可轻松获得高通量的图像数据。

搭载Intel ligent Filament Technology(IFT)

· 自动监视灯丝的状态，自动控制，使其一直处于合适的性能状态。

· 搭载显示灯丝更换时间的显示屏 。

通过该功能，使得原来难以对应的长时间连续观察以及数据分析等大范围分析均可以安心实现。

扩展了真空模式和检测功能，以满足多样化的观察需求。除了可以安装二次电子探测器，以及在任何真空模式下都可操作的高灵敏度半导体式背散射电子探测器之外，还可以安装 UVD。可以获得样品凹凸信息以及通过电子束照射产生的阴极荧光(CL信息）。

通过采用4分割+l单元的设计，对每个单元进行计算，无需倾斜样品，即可获得成分图像、3D图像以及4方向凹凸图像。探测器的设计十分精巧，且灵敏度高，实现了高分辨率和高信噪比 。

红外CCD探测器是用于监控样品 仓内部的装置。通过使用红外线摄像机，可以在观察SEM图像的同时监视样品仓内部情况。为了获得更详细的位置，可放大CCD图 像，并且移动观察位置。

Zigzag功能可以自动获取连续的视野。MultiZigzag 可以在样品台的多个区域设定Zigzag,在不同的视野中拍摄多张高倍率图像，并能够使用Viewer功能来拼接拍摄的图像从而创建大视野图像。

与GUI 联合的SEM MAP实现了广角相机导航米。 在SEM MAP上观察目标位置 ，可以顺利地移动到位置上。使用大视野相机导航系统拍摄的图像或外部图像，通过自由放大或缩小图像，可以将大视野的彩色图像切换到高倍率的SEM 图像。

相机导航系统通过图像拼接功能可以实现大视野的SEM MAP观察。观察区域127mm/直径200mm , 并且可以与样品台R一起联动，移动到大型样品的大观察区域。

Hitachimap 3D可对SU3800的5分割背散射电子探测器当中的 4个不同方向的SEM信号进行演算分析 ，生成三维图像。支持2点间高度、体积和简易 表面粗糙度（面粗糙度、线粗糙度）测量。可一次性接收四个不同方向的信号 ，因此，无需倾斜样品台或合成图像。

日立扫描电子显微镜（SU3800）使用案例（电子产品）：