HPG400 大气压至高真空真空计

HPG400 大气压至高真空真空计

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-11-02 13:07:46
234
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上海森懋机械设备有限公司

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产品简介

益处HPG400可节省成本和工具空间

详细介绍

益处

  • HPG400 可节省成本和工具空间,降低真空系统安装与设置的复杂性
  • 高压热电离真空计可以准确可靠地测量 1×10-5 … 1 毫巴范围内的压力,进而改善过程控制
  • 用户可选的热离子发射在 5×10-2 至 1 毫巴之间启动
  • 皮拉尼联锁保护热丝,防止过早烧毁
  • 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
  • 高真空皮拉尼自动调节,减少操作员干预
  • RoHS 合规

典型应用

  • 半导体制造、电子和媒介产业中的溅射应用
  • 工业镀膜
  • 低真空和高真空范围内的一般真空测量和控制


    规格

    类型

    HPG400

    测量范围(空气,N2

    2×10-6 … 1000

    精度

     

    10-5 … 毫巴

    % of reading

    ±15 (1)

    可重复性

     

    10-5 … 10-1 毫巴

    % of reading

    2

    10-1 … 100 毫巴

    % of reading

    30

    热离子发射,可选:

     

    选购件 1

    mbar

    1

    选购件 2

    mbar

    5×10-1

    选购件 3

    mbar

    2×10-1

    选购件 4

    mbar

    1×10-1

    选购件 5

    mbar

    5×10-2

    压力,更大

    bar (absolute)

    2

    温度

     

    运行(环境)

    °C

    … +50

    贮存

    °C

    -20 … +70

    在法兰处烘烤

    °C

    80

    移除烘烤电子设备

    °C

    150

    电源电压

    20 … 28

    输出信号模拟

     

    输出信号

    V

    … +10.2

    测量范围热阴极

    V

    1.5 … 7.5

    测量范围皮拉尼

    V

    8.5 … 9.75

    电压比压强热阴极

    volts per decade

    1

    电压与压强皮拉尼

    volts per decade

    0.25

    错误信号热阴极

    V

    0.3

    错误信号皮拉尼

    V

    0.5

    更小负载电阻

    k

    10

    接口(数字)(2)

    RS232C

    电气连接

    D-Sub, 15-pin, male

    电缆长度,更大 (3)

    m (ft.)

    100 (330)

    暴露于真空的材料

    Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

    内部容积 KF / CF

    cm(in.3)

    20 (1.2) / 30 (1.8)

    重量 KF / CF

    g

    430 / 695

    保护等级

    IP30

    DeviceNet

     

    协议

    DeviceNet, group 2 slave only

    数据率开关

    kBaud

    125, 250, 500 or network programmable

    电缆长度 125 kbps

    m (ft.)

    500 (1650)

    电缆长度 250 kbps

    m (ft.)

    250 (825)

    电缆长度 500 kbps

    m (ft.)

    100 (330)

    MAC ID

    2 switches (address 00 - 63) or network programmable

    网络规模

    up to 64 nodes per segment

    数字功能

    read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

    模拟功能

    … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

    可视通信指示器

    LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)

    技术规格

    DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"

    设备类型

    ''CG'' for combination gauge

    I / O 从属传讯

    polling only

    设定点继电器: 设定点数量

    2

    设定点继电器: 范围

    mbar

    2×10-6 … 100

    设定点继电器: 继电器触点

    n.o., potential free

    设定点继电器: 滞后

    % of reading

    10

    设定点继电器: 触点额定值

    60

    DeviceNet™ 电源电压

    11 … 25 

    真空计电源电压

    V (dc)

    20 … 28

    DeviceNet™ 连接器

    Microstyle, 5-pin

    HPG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器

    D-Sub, 15-pin, male

    Profibus DP

     

    波特率

    9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

    地址

    2 switches (address 00 - 127) or network programmable

    数字功能

    read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

    模拟功能

    … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

    设定点继电器: 设定点数量

    2

    设定点继电器: 范围

    mbar

    2×10-6 … 100

    设定点继电器: 继电器触点

    n.o., potential free

    设定点继电器: 滞后

    % of reading

    10

    设定点继电器: 触点额定值

    60

    Profibus DP 连接器

    D-Sub, 9-pin, female

    HPG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器

    D-Sub, 15-pin, male

    (1) 精度从 10-5 毫巴至所选热离子排放值

    (2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器,不允许使用现场总线

    (3) 适用于 RS232C 运行 <30m

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