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MLV-100显微激光测振仪通过显微光学系统可实现对微小物体的振动测量,使激光光斑达到微米量级,提高测量的准确性,并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态。
随着MEMS的日益发展,显微式激光测振仪可以测量MEMS元器件的振动和形貌,是专门对微结构的振动测量以及可视化测量分析的理想工具。
点直径* | 大约10um | ||
频率响应范围* | DC to 25KHz, DC to 100KHz, DC to 1MHz/2.5MHz | ||
测量速度范围 | 法向* | 50mm/s,500mm/s,1m/s5m/s10m/s | |
切向* | 150mm/s, 1500mm/s, 15m/s,30m/s | ||
滤波设置 | 高通、低通滤波设置 | ||
显微镜 | |||
目镜 | 放大倍率 | W.D | 光束直径 |
5X | 34mm | 30um | |
10X | 34mm | 20um | |
20X/50X | 20mm/13mm | 10um/2um | |
X-Y平台 | |||
尺寸 | 100X100mm | ||
移动范围 | +/-10mm | ||
分辨率 | 0.001mm |
*可根据客户要求,并可为客户定制