产品关键词：电子迁移率测试、载流子迁移率测量系统、空穴迁移率测试、电子迁移率检测、半导体测试仪、半导体参数分析仪、半导体器件参数测试仪、渡越时间测量、飞行时间质谱仪、少数载流子寿命测试仪、载流子寿命测试仪器、迁移率寿命积测量、少数载流子测试、水平载流子测试仪、横向载流子测试、载流子浓度测量仪

Key words: Electron mobility Test, carrier mobility measurement System, Hole mobility test, electron mobility detection, semiconductor tester, semiconductor parameter analyzer, semiconductor device parameter tester, transit time measurement, time of flight Mass spectrometer, minority carrier lifetime tester, carrier lifetime testing instrument, Mobility lifetime product measurement, minority carrier test, horizontal carrier Tester, transverse carrier test, carrier concentration measuring instrument

▌ 产品简介

2012年为行业提供搭建式系统，并于2019年全新推出的业内新款自动化、集成化的飞行时间法迁移率测量商业化设备。

FlyTOF飞行时间法迁移率测量仪是东谱科技HiTran瞬态综合光电特性测量平台中的重要成员。该系统利用飞行时间法（time-of-flight，TOF）测量半导体材料的迁移率以及相关的光电特性，广泛适用于各类半导体材料，如硅基半导体、第二代半导体、第三代宽带隙半导体、有机半导体、钙钛矿半导体、量子点半导体、二维材料半导体、金属-有机框架（MOF）、共价有机框架（COF）等。FlyTOF基于我司的MagicBox主机研制而成，配备便捷的上位机控制和数据测量软件，可助力客户进行快速、准确的测量。FlyTOF是东谱科技源头研发产品，是业内新款自动化、集成化的飞行时间法迁移率测试商业化设备。

迁移特性是半导体基础的性质之一，是半导体在电子学和光电子学等领域进行应用的基础。半导体的迁移率定义为单位电场下载流子的平均漂移速度。TOF迁移率测试方法直接由迁移率的定义发展而来。 相比于一些间接的迁移率测试方法，如空间电荷限制电流（SCLC）法等，TOF的方法被认为是接近“真实”迁移率的一种测量方法。通过TOF瞬态光电流信号的分析，可以得到电子迁移率、空穴迁移率等参数；用户还可以利用这些数据，结合材料的物理模型进行分析，得到杂质浓度、缺陷、能带混乱度、电荷跳跃距离等参数。

作为TOF迁移率测试方法商业化应用的先行，东谱科技已携手客户广泛探索了FlyTOF在有机半导体、硅基半导体、钙钛矿半导体、二维材料、共价有机框架等领域的应用。东谱期待与您共同开拓FlyTOF更多的应用领域。

▌ 产品特点

□ 载流子迁移率测量值覆盖10^-9~10^6 cm^2/(V.s)

□ 专业的信号调教，电磁兼容噪声小

□ 行业出色的TOF测试功能

□ 软件自动控制，测试快速便捷

□ 快速换样装置，惰性气体氛围测试

□ 可实现宽温度范围的变温测试（选配）

□ 可通过可视化系统看到光斑照射情况

□ 可灵活耦合各种类型的激发光源

▌ 产品功能

□ 飞行时间法瞬态光电流测量

□ 半导体材料电子迁移率测量

□ 半导体材料空穴迁移率测量

□ 载流子浓度测量

□ 载流子寿命测量

□ 可选变温测量

□ 可选Lateral-TOF测试功能及附件

□ 可选配TOF二维扫描（mapping）功能及附件

功能说明：

标配TOF：纵向TOF；

Mapping功能：可以对TOF的信号进行二维平面的成像；

Lateral-TOF功能：可以以水平的方式对样品的迁移率进行测试。

▌ 产品应用

▌ 规格型号

▌ 测试样例