SKY CDG025D-X3 4-20mA current loop 0.1 ... 1000 托 / 毫巴过程压力真空计-英福康（广州）真空仪器有限公司手机版

详细介绍

好处

全刻度范围从 100 毫托 … 1000 托
电源接通后快速稳定
暴露于大气压后快速恢复
防腐陶瓷传感器
的长期信号稳定性
温度补偿
传感器防污染双层保护
一键调零功能
电源范围广
2 个设定点
RS232 接口
Remote zero included
符合洁净室标准
Status LED

典型应用

用于刻蚀、CVD、PVD、ALD 的半导体生产设备
数据存储和显示制造设备
工业真空设备
常规高精度压力测量

规格

类型		1000 Torr / 1100 mbar	500 ... 10 Torr / mbar	1 Torr / mbar	0.25 Torr	0.1 Torr / mbar
精度 (1)	% of reading	0.2	0.2	0.2	0.25	0.5
温度效应
零点	percent FS/°C	0.005	0.005	0.015	0.02	0.02
满量程	% of reading / °C	0.01	0.01	0.01	0.03	0.03
分辨率	percent FS	0.003	0.003	0.003	0.003	0.003
压力，	kPa (absolute)	300	200	200	200	130
反应时间 (2)	ms	≤100	≤100	≤100	≤100	≤100
读数	percent FS	0.01	0.01	0.01	0.01	0.01
建议的读数	percent FS	0.05	0.05	0.05	0.05	0.05
建议的控制压力	percent FS	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5
温度
运行（环境）	°C	+5 … +60	+5 … +60	+5 … +60	+5 … +60	+5 … +60
在法兰处烘烤 (4)	°C	≤110	≤110	≤110	≤110	≤110
贮存	°C	–20 … +65	–20 … +65	–20 … +65	–20 … +65	–20 … +65
电源电压	V (dc)	+21 … +27	+21 … +27	+21 … +27	+21 … +27	+21 … +27
76b34a4a-4e29-4c2f-b9f5-f7c162f44101
Signal range	mA	3.8 ... 20.2	3.8 ... 20.2	3.8 ... 20.2	3.8 ... 20.2	3.8 ... 20.2
Measuring range (zero ...FS)	mA	4.0 ... 20.0	4.0 ... 20.0	4.0 ... 20.0	4.0 ... 20.0	4.0 ... 20.0
Relationship current-pressure		linear	linear	linear	linear	linear
Loaded impedance RL
33b4d39f-dcb0-4da6-b8bb-405bbe6e5695		typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4)	typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4)	typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4)	typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4)	typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4)
absolute		309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)
absolute		309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)
absolute		309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)
remote zero input
High level		+21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA	+21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA	+21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA	+21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA	+21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA
Low level	V (dc)	≤2
Remote zero function
High level (pulse >1s)		auto zero adjust	auto zero adjust	auto zero adjust	auto zero adjust	auto zero adjust
Low level			measurement operation	measurement operation	measurement operation	measurement operation
保护等级		IP 30	IP 30	IP 30	IP 30	IP 30
标准
CE 合规		EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS
ETL 认证		UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
电气连接		D-Sub, 9-pin, male	D-Sub, 9-pin, male	D-Sub, 9-pin, male	D-Sub, 9-pin, male	D-Sub, 9-pin, male
Sensor cable
Without remote zero		two-wire cable plus shielding, twisted	two-wire cable plus shielding, twisted	two-wire cable plus shielding, twisted	two-wire cable plus shielding, twisted	two-wire cable plus shielding, twisted
With remote zero		four-wire cable plus shielding, twisted	four-wire cable plus shielding, twisted	four-wire cable plus shielding, twisted	four-wire cable plus shielding, twisted	four-wire cable plus shielding, twisted
暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁵⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁵⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁵⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁵⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁵⁾)
内部容积
内部容积 1/2'' 管	cm³ (in.³)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)
内部容积 DN 16 ISO KF	cm³ (in.³)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)
内部容积 DN 16 CF-R	cm³ (in.³)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)
内部容积 8 VCR®	cm³ (in.³)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)
重量
重量 1/2'' 管	g	310	310	310	310	310
重量 DN 16 ISO KF	g	330	330	330	330	330
重量 DN 16 CF-R	g	350	350	350	350	350
重量 8 VCR®	g	370	370	370	370	370

(1) 25 °C 环境温度时非线性、滞后、可重复，运行 2 小时后不产生温度效应。

(2) 增加 10 ...90 % FS

(3) 仅适用于压力控制类型

(4) 非运行

(5) 18% 铬、10% 镍、3% 钼、69% 铁

数据表

手册

三维步骤文件

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