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产品简介
喷淋式显影机（WH-PXY-01）是汶颢股份自主开发的具有独立知识产权的一款产品，针对光刻工艺中的显影过程而设计开发的，可以对5英寸以下规格的硅片进行程控式自动化显影。该设备可替代微流控芯片制作过程中的手动显影环节，克服了手动显影过程中的显影液加入量不可控、硅片显影时间不可控、同规格硅片间隔显影效果不可控，上减少操作人员人为因素导致的显影质量问题以及硅片的损坏。
技术参数
²转速：0～400RPM；
²液量控制：10～500mL；
²适配硅片/芯片：3寸、4寸、5寸；
²显影时间：0～900s；
²进液速度：0～99%；
²电源输入：AC220V±10V/50HZ；
²功率：100W；
²重量：20 kg；
²外形尺寸：410（W）* 410（D）* 350（H）mm；
²工作环境：温度0℃-40 ℃，相对湿度＜80 %；
特征图解
特征图解1
特征图解2
备注：如需了解产品价格及其他技术内容可咨询我司客服！
