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小型离子溅射仪

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上海默津仪器设备有限公司

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产品简介

本仪器主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜（金膜），仪器操作简单方便，是配合中小型扫描电子显微镜制样的仪器

本仪器主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜（金膜），仪器操作简单方便，是配合中小型扫描电子显微镜制样的仪器。

Ø 玻璃处理室：Φ100mm、高度130mm

Ø 试样台尺寸：Φ40mm可同时放6个样品杯

Ø 金靶尺寸：Φ58mm

Ø 真空系统：直联旋片真空泵2L/S

Ø 真空检测：皮氏计

Ø 真空保护：20Pa配有微量充气阀调节工作真空

Ø 工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气专用进气口和微量充气调节

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