应用范围及结构简介

离子减薄仪是由华中科技大学材料科学与工程学院专为透射电子显微镜（TEM）研制的样品制备设备。该设备主要适用于金属、陶瓷及半导体等固体材料的TEM样品的减薄与抛光。

该设备由小角度样品旋转系统（Small incidence angle specimen rotation system, SIASRS）（）、高真空系统（High vacuum system, HVS），高压电源系统（High voltage power system, HVS）、快速气动换样系统(Pneumatic rapid specimen exchanger)（）以及高能聚焦离子枪等主要部分组成。设备外观美观、操作方便，可靠性好，是从事材料科学研究所的关键设备。

产品优势

1． 小角度样品旋转系统

作为离子减薄仪的核心部分，因其结构设计合理、精巧实用，获得了国家。其特点：

样品台旋转稳定，对离子束无遮挡

该装置采用了齿轮传动方式，用传动齿轮带动主齿轮转动，从而使安置在主齿轮上的样品平稳转动。该装置避免了国内外同类产品中三柱式样品台旋转系统及轴承传动旋转系统的缺点，使样品台不会在旋转减薄过程中遮挡离子束(Ion beam)，以及样品旋转不稳定而导致样品薄区表面不均匀等问题。同时，该装置还解决了因离子束撞击样品台而污染真空室的问题。

离子束掠射角小，样品薄区大

该系统采取了超薄型样品台设计，使样品与离子束之间的掠射角同时减小到最小角度(仅为1.5°)，因而被减薄样品的薄区范围比同类产品所减薄样品的薄区明显增大，这也是该系统的主要特点之一。

系统结构紧凑，样品减薄速度高

在离子枪的结构上克服了目前同类产品的结构缺陷，调近了离子枪与样品的距离，达到了节约能源、提高减薄速度的效果。

样品台导热性能好

在样品减薄过程中，由于高能离子束的冲击作用，样品的温度会有所升高，针对这一问题，样品台采用特制导热性能良好的材料，从而降低了样品的温升，这样保证了样品在减薄过程中不会发生相变。

2． 高真空系统

由于真空系统结构紧凑、小巧，使真空室体积大大缩小，同时采用德国*的分子泵及隔膜泵。大大提高了系统抽真空的速度及真空度，为减薄样品创造了有利条件。

3． 高压电源系统

系统采用国外进口元器件，性能优良，安全可靠，使用寿命长。电源高压稳定，电压可随意调节，并实现了高压故障自动保护。

4． 快速气动换样系统

为了减少因更换样品而影响样品减薄时间及系统抽真空时间，特别设计了快速气动换样系统，实现了在不影响系统真空的条件下，快速更换样品的目的。

工作环境要求(Service Requirements)

电源（Electricity）： 1.2kW AC 220 ~ 240V 50Hz

气源 (Gas)： > 0.1MPa(1kg/cm ²) 氩气

技术参数(specifications)

高压电源（High voltage supply×2）： 0 ~ 10kV (连续可调，短路保护)

离子束电流（Total current）： 0 ~ 1mA

离子束掠射角（Beam incidence angle）： 1.5°~ 45°（双面）

自动保护（Auto-shutdown）： 高压 (high voltage)，

样品旋转 (specimen rotation)

抽真空速率（Pumping speeds）： 分子加速泵（TP）/ 隔膜泵

样品（Specimen×1）： 3毫米直径 (3mm diameter)

样品减薄速率： 40μm/h(Cu)

重量及外形尺寸（Weight and size）： 30kg，420mm×520mm×700mm

其它信息

武汉吉普电气有限公司注册于武汉东湖新技术开发区，是由海内外学子共同创办的一家集研究、 生产和贸易为一体的高科技公司；所研制的离子减薄仪技术及相关产品达到国际上水平。

延友仪器（上海）有限公司是武汉吉普电气有限公司的代理商，负责销售其生产的离子减薄仪。

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刘先生：

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