电镜主动减振台-隔振台-防震台-减震台AVI-600M

AVI-600M电镜主动减振台-隔振台-防震台-减震台AVI-600M

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具体成交价以合同协议为准
2022-09-20 14:28:21
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广州市固润光电科技有限公司

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产品简介

电镜主动减振台|隔振台-防震台-减震台AVI-600M是一款紧凑型、模块化的六自由度隔振系统,用于抵消工作环境对灵敏度高的精密设备产生的不必要振动,以提高精密设备的性能,具有的性能及通用性。该减振台的主动隔振频率为 0.5Hz - 200Hz,被动隔振频率200Hz,其能够整合到现有的需要低频隔振的设备中,主动检测输入振动并动态消除;允许自由选择整个系统的尺寸和配置,可通过增加隔振模块的数量来......

详细介绍

电镜主动减振台 AVI-600M,广泛用于蔡司ZEISS、莱卡Leica、日立HITACHI、日本电子JEOL等品牌的大型电子显微隔振,以及半导体设备、大型、电子天平精密设备隔振。适用于各类大型显微镜AEMSEMATMTEM,轮廓仪主动减振台,电子太平主动减振台,激光设备主动减振台!

电镜主动减振台-隔振台-防震台AVI-600M

产品描述:

电镜主动减振台AVI-600M是一款紧凑型模块化的主动隔振系统-隔振台-防震台,可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界的主动隔振性能(从0.5 Hz开始)。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声,帮助用户从显微镜上获得更多收益,并且平台采用了低调的模块化设计,无需为大多数仪器(包括大多数SEM)安装所需的升降设备,从而简化了安装过程。

适用于各类大型电子显微镜AEMSEMATMTEM,防震台,轮廓仪防震台,电子太平防震台,超快激光系统防震台,时频系统防震台,大型半导体设备防震台,激光设备主动防震。

工作原理:

隔振台-防震台使用电气控制,通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动,并基于该信息,执行器沿相反方向产生作用力,并继续产生的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。

AVI系列隔振台采用*的隔振技术,适用于任何研究情况下,可以隔离6个自由度方向上的振动,包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动,通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中,然后改换能器产生一个与传入压力大小相等,相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜,光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动,提供稳定的测试环境。

产品特点:

  • 六个空间方向自由隔振(0.5Hz – 200Hz主动隔振, >200Hz被动隔振)
  • 5-20ms响应时间
  • 低频隔振性能优异,安装和使用简单
  • 系统主动检测输入振动并动态消除
  • 紧凑、模块化的多功能设计
  • 稳定性高,能连续使用多年
  • 无低频共振、无空气要求

电镜主动减振台应用范围:

  • 超高真空扫描探针显微镜(UHV-SPM)
  • 光刻工具
  • 高精度计量工具
  • 光谱仪器

电镜主动减振台技术参数:

升级选项:

电镜主动减振台隔振效果:

性能对比图:SEM的研究人员在两种条件下进行成像: 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时,所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

电镜主动减振台 隔振效果图

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标签:电镜主动减振台防震台隔振台
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