SDC-580晶圆全自动接触角测量仪

SDC-580晶圆全自动接触角测量仪

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具体成交价以合同协议为准
2022-11-16 11:32:11
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南京诺旭微光电有限公司

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产品简介

SDC-580半导体晶圆全自动接触角测量仪一·概述(Summary) 接触角(Contactangle)是指在气、液、固三相交点处所作的气-液界面的切线,此切线在液体一方的与固-液交界线之间的夹角θ,接触角测量是现今表面性能检测的主要方法

详细介绍

SDC-580半导体晶圆全自动接触角测量仪

一·概述(Summary)

接触角(Contact angle)是指在气、液、固三相交点处所作的气-液界面的切线,此切线在液体一方的与固-液交界线之间的夹角θ,接触角测量是现今表面性能检测的主要方法。
SDC-580半导体晶圆款接触角测量仪是采用光学成像的原理,设备采用图像轮廓分析方式测量样品表面接触角、润湿性能、表界面张力、前进后退角、表面能等性能,设备采用全自动进液装置,性价比高、拓展性强、功能全面、可满足各种常规测量需求,目前已经广泛使用在众多高校院所及企业。

二·仪器应用领域

 接触角测量仪广泛应用于各个行业领域,在手机制造、玻璃制造、表面处理、材料研究、化学化工、半导体制造、涂料油墨、电子电路、纺织纤维、医疗生物等领域,接触角测量已经成为了一项评估表面性能的重要仪器。
(部分测试功能需要选购专门附件完成)
1. 液体在固体表面的铺展、渗透、吸收等润湿行为,座滴法测量静态接触角;
2. 材料在固体表面的前进角、后退角、接触角滞后、滚动角、动态接触角测量;
3. 吸收材料的连续实时研究及过程记录,接触角随时间变化曲线分析;
4. 各种特殊材料的接触角测量,如粉末、弯曲曲面、超疏水/超亲水样品;
5. 附着滴法测试材料浸没在液体中的接触角测试;
6. 悬滴法测量各种液体表界面张力及其极性、色散分量;
7. 计算固体表面自由能(Surface free energy),及其极性色散分量分析;
8. 分析液体在固体表面的粘附功(Adhersion),评估固体表面均匀性、清洁度等。

三·仪器介绍

 SDC-580半导体晶圆接触角测量仪主要由光源、注射单元、样品台、采集系统、分析软件五大部分组成,设备采用光学成像的原理。
1、光源采用密集LED冷光设计,发光均匀,图像清洗,寿命长;
2、注射单元采用高精度注射泵进液,由软件定量定速控制,滴液稳定,精度高达0.01微升;
3、样品台采用三维手动精调平台,操作灵活,定位准确,样品台可根据实际样品尺寸定制;
4、采集系统采用黑白进口CCD相机,拍摄稳定,图像清晰,真实可靠,镜头采用德国工业级进口配置,0.7-4.5倍放大可调,成像无畸形失真;
5、分析软件功能强大,具备一键式全自动拟合能力,具备国际的拟合方法,满足各种液滴形态的精确拟合;


五·产品特点

 专业级的高精度全自动注射系统,液滴控制精度可达为 0.1μl
 可微调式 LED 工业级冷光源系统(寿命 20000H 以上),更清晰的成像,同时 避免额外热度所导致的小液滴挥发
 采用高性能日本工业机芯,无失真远心镜头,确保的成像效果。
 采用 USB2.0 标准接口,数据传输速度快,兼容性高
 高强度航空铝合金结构,模块化设计理念,可配置各种常用测量附件
 日本原装高精度 XYZ 三向运动模组,测试更平稳更准确
 自主研发的集成芯片电路控制,保证仪器以状态运行
 多种辅助模块选取,满足更多的外部测试条件
 家提供德国进口的接触角测量校准样品,确保测量结果精确无误
 光学系统可进行倾斜度调节,适合超低角度测量和疏水材料测量

 的接触角分析方法,更适合多种材料接触角测量
 强大的智能化数据库管理:可录入多组产品参数和测量参数,能随时查看及 调取测试,进行一键多点测量
 软件自动触发摄像和计算,全自动多点测量,更多的避免了人为操作误差
 高速测量计算,更适用于产线或大量测试产品的生产及应用,提高工作效率
 表面接触角分析模块,更简捷的操作,更准确的结果
 视频快速测试数据,可连续性进测试接触角形态变化
 智能化软件操作:【自动寻找测试点—自动滴液—自动寻找基准线—自动拟合 测量】‐‐一键控制

六·仪器参数

接触角主机

外形尺寸

长835mm,宽330mm,高639mm

重量

约35KG

电源

220V / 60HZ

光源系统

光源

密集LED可调节蓝色基调工业级冷光源

寿命

使用寿命达贰万伍仟小时以上

注射单元

注射器

专用配套高精密石英注射器、容量500μL

滴液

软件控制自动进液、补液,精度高达0.01μL

注射单元移动

上下50mm; 左右50mm;Z轴自动送样测试

采集系统

CCD

SONY高速工业级芯片、30帧/S、130W像素

镜头

0.7-4.5倍远心变倍变焦双调节式显微镜

采集系统调节

前后50mm(3mm微调)、视角角度可调(平视、俯视、仰视、360°旋转等多视角观察)

样品台装置

工作台面尺寸

240mm(可定制)

样品尺寸

12寸/8寸/6寸

样品台移动

前后移动 手动,行程215mm,导轨快速移动式
旋转角度 360°水平旋转

分析软件

接触角测量范围

0-180°

接触角测量精度

±0.1°

测试分辨率精度

0.001°

表界面张力测量范围

0-5000mN/m

表界面张力测量精度

0.01 mN/m

分析方法

国内的接触角测量分析软件自动拟合法(一键自动拟合,
不存在人工误差)包括:圆法拟合(Circle method)、椭圆/斜
椭圆拟合法(Ellipse/Oblique ellipse)、Young-lapalace拟合、微分椭圆法/微分圆法(Differential circle / Differential ellipse);

表面自由能

Zisman、OWRK、WU、WU 2、Fowkes、Antonow、Berthelot、EOS、粘附功、浸湿功、铺展系数

动态接触角拟合

批量截图拟合、视频连续自动拟合、自动在线实时拟合

表/界面张力测试

悬滴法(可实时全自动动态表面张力测试)

测试液滴状态

悬滴法(Pendant Drop)、停滴法(Sessile Drop)(2/3态)、掳泡法、座滴法、座针法

七·接触角专业测量方法

 座滴法(sessile drop);

 悬滴法(pendant drop);
 薄膜法(lamella method);

 掳泡法(Captive bubble method);
 包覆纤维法(wetted fiber);
 纤维座滴法(sessle fiber drop);

 

八· 符合国家的相关标准
 GB/T 24368‐2009(玻璃表面疏水污染物检测)
 SY/T5153‐2007(油藏岩石润湿性测定方法)
 ASTM D 724‐99(2003)(纸的表面可湿性的试验方法)
 ASTM D5946‐2004(塑料薄膜与水接触角度的测量)
 ISO15989(塑料薄膜和薄板电晕处理薄膜的水接触角度的测量)

 

 

 

 

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