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该款质量流量计是按照气体的原子质量计算流量大小，其精确度高。核心流量检测仪采用七星华创的高精度检测仪，精度达到0.05 SCCM
技术参数：
| 产品名称 | 三路质子气体配比器 |
| 产品型号 | CHY-3Z |
| 流量计类型 | 质子流量计 |
| 流量计管芯 | 304不锈钢 |
| 调节阀类型 | 电磁调节阀 |
| 管道常态 | 常闭 |
| 流量计外壳 | 黑色铝壳 |
| 气体种类 | 3种 |
| 接口尺寸 | 1/4" |
| 测量精度 | ±1.0%F.S |
| 线性度 | ±0.5%F.S |
| 重复精度 | ±0.2%F.S |
| 压力范围 | -0.1-0.15 MPa |
| A路气体测量范围 | 0～100SCCM |
| B路气体测量范围 | 0～200SCCM |
| C路气体测量范围 | 0～500SCCM |
| 流量控制范围 | 2%～99% |
| 零点温漂 | 0.6F.S(15～35℃) |
| 响应时间 | 2S |
| 工作环境温度 | (15～50℃) |
| 精度保证温度 | (15～35℃) |
| 供电电源 | 220V 50Hz |
| 外形尺寸 | L700×W600×H580 |
| 设备重量 | 43kg |
