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腔室：150X120MM
尺寸：360(W)X310(D)X150mm(H)
靶材：50mm各种金属靶材
产品特色
液晶屏实时真空度显示
实时显示溅射电流，电压，真空度等参数
可通各种惰性气体
氮气，氩气等，进气量可调
直径50mm厚度1-2mm金属靶材
方便更换靶材，配方默认保存方便下次操作
腔室：150X120MM
尺寸：360(W)X310(D)X150mm(H)
靶材：50mm各种金属靶材
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液晶屏实时真空度显示
实时显示溅射电流，电压，真空度等参数
可通各种惰性气体
氮气，氩气等，进气量可调
直径50mm厚度1-2mm金属靶材
方便更换靶材，配方默认保存方便下次操作
腔室：150X120MM
尺寸：360(W)X310(D)X150mm(H)
靶材：50mm各种金属靶材
产品特色
液晶屏实时真空度显示
实时显示溅射电流，电压，真空度等参数
可通各种惰性气体
氮气，氩气等，进气量可调
直径50mm厚度1-2mm金属靶材
方便更换靶材，配方默认保存方便下次操作
