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三路质子流量控制器主要用于实验室气体流量测试,并按比例混合气体,为实验室管式炉或手套箱等其他特定容器营造特定要求的气氛环境.
该气体流量控制器可以外接3种气体,采用质子型流量计,气路管道采用304抛光管制作耐腐蚀性强.三路质子气体配比器气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.
应用范围：
1.半导体制造行业中气体流量控制
2.各种真空镀膜设备
3.材料表面处理
4.气体燃烧控制
5.混和配气系统
6.环境检测与分析设备
7.分析仪器的气体流量计量与控制 8.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所
技术参数
| 产品名称 | 三路质子气体流量控制器 |
| 流量计类型 | 质子流量计 |
| 流量计管芯 | 304不锈钢 |
| 调节阀类型 | 电磁调节阀 |
| 管道常态 | 常闭 |
| 流量计外壳 | 黑色铝壳 |
| 气体种类 | 3种 |
| 接口尺寸 | 1/4" |
| 测量精度 | ±1.0%F.S |
| 线性度 | ±0.5%F.S |
| 重复精度 | ±0.2%F.S |
| 压力范围 | -0.1-0.15 MPa |
| A路气体测量范围 | 0～100SCCM |
| B路气体测量范围 | 0～200SCCM |
| C路气体测量范围 | 0～500SCCM |
| 流量控制范围 | 2%～99% |
| 零点温漂 | 0.6F.S(15～35℃) |
| 响应时间 | 2S |
| 工作环境温度 | (15～50℃) |
| 精度保证温度 | (15～35℃) |
| 供电电源 | 220V 50Hz |
| 设备重量 | 43kg |
