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功能 | 配气仪 |
基本型号 | 500X系列 |
配比范围 | ppm级 1ppm-99% |
配气不确定度(%) | ±1%F.S(可定制更高精度) |
控制阀动作形式 | 长闭式 |
被稀释气体 | 各种带酸性,碱性气体.有毒有害,惰性气体 |
配气通道 | 二通道,三通道,四通道等,可达十几种气体配比 |
载气 | 空气,氮气,氩气等气体 |
配气流量 | 5sccm-30slm(可定制更高量程) |
线性(%F.S) | ±0.5 |
重复精度(%F.S) | ±0.2 |
响应时间(sec) | ≤1 |
设备输出信号 | RS232或RS485 |
电器接头 | DB15pin DB14pin DB9pin 接头 |
工作环境 | 5-55(℃) |
工作压差 | 0.05-0.5MPA |
漏率 | ≤1X10-8pa.m3/s(He) |
耐压 | 3MPA |
介质接触材质 | 316 316L |
密封材料 | 氟橡胶,硅橡胶,丁晴橡胶,聚四氟乙烯,金属密封性 |
接头尺寸 | Swagelok 1/8 , 1/4 ,3/8,1/2或φ3,φ6,φ8 φ10 φ12 |
电源要求 | 220V, 2A |
显示方式 | 触摸屏 |