产品简介
龙门双驱 产品用途：满足高速高精度产品的定制需求，适用于激光加工，CCD成像，晶圆检测等。产品特性：1.X，Y，Z工作台，Z轴布置于平台大理石横梁，2.龙门结构，横梁可随Y轴运动，3.XY微米级重复定位精度，4.速度1000mm/s，加速度1.0g5.单轴直线度可达±1.5um，运动平面度可达±2.5um
详细介绍
龙门双驱 产品用途：满足高速高精度产品的定制需求，适用于激光加工，CCD成像，晶圆检测等。产品特性：1.X，Y，Z工作台，Z轴布置于平台大理石横梁，2.龙门结构，横梁可随Y轴运动，3.XY微米级重复定位精度，4.速度1000mm/s，加速度1.0g5.单轴直线度可达±1.5um，运动平面度可达±2.5um
技术参数：
产品类型 | ZWLS-500-300 |
| X | Y |
行程 | 500mm | 300mm |
分辨率 | 0.1um |
定位精度（补偿后） | ±2um |
重复定位精度 | ±1um |
直线度 | 3um |
平面度 | ±2.5um |
垂直度 | ±5um |
速度 | 1000mm/s | 1000mm/s |
加速度 | 1.0g |
负载 | 10kg |
A | 1544 |
B | 1380 |
C | 603 |
外形尺寸：
