VCSEL-LIV-NF-FF-在线晶圆测量机-莱森光学（深圳）有限公司手机版

详细介绍

VCSEL（Vertical Cavity Surface Emitting Laser，垂直共振腔表面放射激光）技术目前在在人脸识别、3D感测、汽车自驾驶、手势侦测和VR(虚拟现实)/AR(增强现实)/MR(混合现实等应用领域越来越受到关注，莱森光学®可以为客户提供VCSELVCSEL-3D SENSING/TOF检测解决方案：LIV光谱/功率积分测试、NF近场特性测试、FF远场特性测试、BRDF/BTDF光学材料AR/VR特性测试、VCSEL积分球,实现对VCSEL单体、模组、及晶圆芯片的能量分布和均匀性测量、光谱波长及功率测量、近场远场测量等各种定制化应用需求。
VCSEL-LIV-NF-FF自动化在线晶圆测量系统由莱森光学专门针对基于6寸 VCSEL晶圆得LIV光谱测试/NF近场测试/FF远场测试研发而成，特别适合晶圆线上自动化测量。

主要技术特点

● 满足ISO/IEC标准

● 晶圆大支持6寸

● 支持脉冲和CW模式

NF近场测试

主要技术指标

项目		规格	单位
晶圆参数	晶圆尺寸	≤6	inch
	晶圆厚度	100~3,000	μm
	晶圆曲度	≦10	mm
	芯片尺寸	150~3,000	μm
	衬底尺寸	≧50	μm
	光功率	0.1~10,000	mW
	波长	800~1,100	nm

LIV-NF-FF	LS-LIV-1000	LS-NF-2000	LS-FF-3000
测量能力	LIV和光谱功率测量	近场测试	远场测试
测量能力	LIV，Leakage current漏电流，Ith阈值电流，Kink，中心波长（λc），峰值波长（λp），FWHM半高宽	光斑大小、椭圆度、发散角、功率分布等	斑发散角、能量空间分布、光斑准直度、对称度（IEC60825-2）
温控能力	5-85℃（标准），
电流源通道选择	取决于DUT结构，可由PXI基础配置
测量方法	双极，25W /通道，4线，CW和QCW
电压范围	±100mV, ±300mV, ±600mV；±1V, ±3V, ±6V, ±10V, ±15V, ±30V,
电流范围	±3.5A(≦5V), ±2.5A(≦10V), ±1A, ±100mA, ±10mA, ±1mA, ±100uA, ±10uA, ±1uA
电流脉冲宽度	>100 μs
脉冲占空比	20％
光学测试模块	带标定积分球和光谱仪	带自动对焦显微镜系统的CCD摄像头	高速CCD摄像头/标准板

产品简介

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