型号

LS-WPS150-SC

LS-WPS200-SC

LS-WPS300-SC

外形

820mm长*

720mm宽*

890mm高

960mm长*

850mm宽*

900mm高

1300mm长*

920mm宽*

920mm高

重量

约170公斤

约230公斤

约300公斤

电力需求

220VC, 50~60Hz

样品台

尺寸

6英寸，可360度旋转

8英寸，可360度旋转

12英寸，可360度旋转

行程

X-Y行程6*6英寸

X-Y行程8*8英寸

X-Y行程12*12英寸

移动精度

1um

样品固定方式

真空吸附

背电极测试功能

有，样品台电学独立悬空

针座平台

规格

U型平台，多可以放置8个针座

U型平台，多可以放置10个针座

U型平台，多可以放置12个针座

行程&调节方式

平台可以快速升降，行程6mm，并带自动锁定功能；可以上下微调，行程25mm，升降精度1um

光学特性

显微镜行程

X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴：50.8mm

显微镜移动精度

1um

切换镜头方式

显微镜快速倾仰30度

放大倍数

20~4000X

镜头规格

目镜：10X;  物镜：5X,  10X,  20X,  50X,  100X （选配）

CCD像素

50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字）

点针规格

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm

机械精度

10微米/2微米/0.7微米/0.1微米

漏电精度

10pA/100fA（配置屏蔽箱时）

接口形式

香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA/K接口

应用方向

晶圆测试，光电器件测试，PCB/封装器件测试，射频测试，高压/大电流测试等