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活性炭(颗粒、纤维)，具有很多微孔及很大的比表面积，依靠分子引力和毛细管作用，能使溶剂蒸汽和挥发性物质吸附于其表面，又根据不同物质的沸点，用蒸汽将吸附物质析出。当采用蒸汽为解析介质时解析出的溶剂蒸汽与水蒸汽一起通过冷凝器凝结，进入分离桶经分离后回收溶剂。残液经曝气处理后排放。
装置的废气温度应低于40℃，如高于40℃的废气需增加空气冷却装置，冷却后进入吸附罐。用于喷漆作业等产生的含有较多颗粒粉尘废气净化，废气应先对颗粒物进行过滤净化。当吸附的溶剂沸点较高(120℃以上)时，可采用蒸汽过滤器，提高解吸蒸汽温度。
