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NA系列

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2024-08-10 08:13:44: 80

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产品简介

Luminous NA 系列是一种无晶圆尺寸的灰化设备，可以处理从关键的下一代晶圆工艺到晶圆级安装工艺的各种工艺。

详细介绍

产品特性：

1 x 10 ¹⁶原子/cm ²或更高的离子注入剥离工艺和聚合物去除工艺的无损实施是下一代关键晶圆工艺所需的。
它的腔室配置非常适合 F 基气体添加过程，并且无颗粒。因此，可以构建从普通PR到离子注入剥离、有机膜剥离（PI、DFR等）剥离、氧化膜蚀刻等非常广泛的工艺流程。
通过采用简单的设备配置，同时实现了“的可维护性和可靠性”和“低成本”。
灵活的腔室配置是可能的（μ 波、RIE、μ 波 + RIE），并且可以选择多种传输路径。
只需通过设置配方即可切换晶圆尺寸，并且可以非常轻松地更改晶圆尺寸。

产品应用：

离子注入剥离工艺（1 x 10 ¹⁶原子/cm ²或更多）和聚合物去除在前端工艺
需要CF ₄添加工艺的晶圆工艺（电子零件/LED）
芯片尺寸封装及BUMP工艺
CCD彩色滤光片制造工艺

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