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上海伯东 Pfeiffer 全量程真空计 PKR 251 又获真空设备商订单

时间:2023-06-06      阅读:68

上海伯东德国 Pfeiffer 全量程真空计 PKR 251, 内置两个传感器, 测量范围 5X10-9 至 1000 hPa, 耐一般性腐蚀, 坚固耐用, PKR 251 作为标准配件广泛应用于各类真空设备中.

全量程真空计 PKR 251 应用于6寸碳化硅外延炉
上海伯东某客户生产 SIC 薄膜器件肖特基二极管和新能源汽车的 IGBT 器件. 选用真空规 PKR 251 测量 6寸碳化硅外延炉设备中的石英真空腔室的真空度. 经过实践认证, 真空计符合工艺要求.
普发全量程真空规 PKR 251

 

Pfeiffer 全量程真空计 PKR 251 技术参数

型号

接口

测量范围
(空气, N2)

压力
 

准确度

可重复性

输出信号(测量信号)

电源电压

PKR 251

DN25 ISO-KF
DN40 ISO-KF
DN40 CF-F

5X10-9 至 1000 hPa

10000 hPa,
限于惰性气体且温度 < 55 °C

在 1X 10-8 至 100 hPa 范围内约为 ± 30 %

在 1 X 10-8 至 100 hPa 范围内约为 ± 5 %

电压范围
大约 0 V – 大约 +10.5 V

在真空计处
15.0至30.0 V DC


上海伯东 Pfeiffer 德国普发真空产品代理商, 销售维修普发 Pfeiffer 真空产品 20余年. 可协助客户选型并提供完善的售后维修服务. 拥有进口维修设备和备品配件, 提供快速维修服务.

若您需要进一步的了解 Pfeiffer 全量程真空计 PKR 251 详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗先生

 

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