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一、高温退火炉的设备优势
高速加热与冷却方式
高能量的红外灯和镀金反射方式允许高速加热到高温。同时炉体可配置水冷系统,增设气体冷却装置,可实现快速冷却。
温度高的精度控制
过红外镀金聚焦炉和温度控制器的组合使用,可以精que控制样品的温度(远比普通加温方式)。此外,冷却速度和保持在任何温度下可提供高的精度。
不同环境下的加热与冷却
加热/冷却可用真空、气氛环境、低温(高纯度惰性气体静态或流动),操作简单,使用石英玻璃制成。红外线可传送到加热/冷却室。
二、高温退火炉性能优势
可匀速、阶梯(升降温)、循环冲击,真空、气氛等多种的加热方式。
采用移相触发技术,*可实现控制精度波动0.5C以内,温控精度高。
加热速度快,并且同时提供了材料的多种性测试环境。
三、应用范围
1.电子材料
半导体用硅化合化的PRA(加热后急速冷却)
热源薄膜形成
激活离子注入后
硅化物的形成
2.陶瓷与无机材料
陶瓷基板退火炉
玻璃基板退火炉
陶瓷张力、挠曲试验退火炉
3.钢铁和金属材料
薄钢板加热过程的数值模拟
炉焊接模拟
高真空热处理(1000℃以下)
大气气体熔化过程
压力下耐火钢和合金的热循环试验炉
4.复合材料
耐热性评价炉
无机复合材料热循环试验炉
5.其它
高温拉伸压缩试验炉
分段分区控制炉
温度梯度炉
炉气分析
超导陶瓷退火炉