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产品简介:
NanoMap-D 是一款集白光干涉非接触测量法和大范围SPM探针扫描接触式测量法于一体的双模式三维表面轮廓仪,测量方式可以根据测量需要灵活切换
在强大的分析软件和*的传感器下,NanoMap-D的应用领域覆盖了薄膜/涂层、光学、工业轧钢和铝、纸、聚合物、生物材料、陶瓷、磁介质和半导体等几乎所有的材料领域。
产品特性: 产品应用:
平台: 薄膜厚度测量
一个平台融合两种技术(接触和非接触) 台阶高度测量
计算机可控5个方向的精密电控工作台 表面粗糙度测量
使用方便 - 关键2步操作 二维薄膜应力测量
超高分辨率数字成像传感器传输数据快 平坦度或曲率测量
非接触光学轮廓仪探头: 表面轮廓(缺陷、形貌等)呈现
成像质量在200万像素之上 划痕形貌,磨损深度、宽度和体积定量测量
0.001nm的分辨率
nm到10mm的Z轴范围
XY扫描范围达到150x150mm
测量速度快 -
大于20年的LED光源寿命
接触式轮廓仪探头:
可生成二维和三维图像
nm到500um的Z轴范围
XY扫描范围达到150x150mm(针尖扫描和样品台扫描)