产品简介：
         NanoMap-500LS接触式台阶仪/三维表面轮廓仪是传统接触式表面轮廓仪和扫描探针显微镜（SPM） 的*结合，它利用扫描探针显微镜光杠杆位移检测技术和超平整参照面-大型样品台扫描技术，并与压电陶瓷（PZT）扫描*结合，可在不损失精度的情况下，即得到超大样品整体三维轮廓图，又可呈现局部的三维形貌。其中样品台扫描参考平面使用超高平坦度光学抛光平台，这样可以有效解决样品台扫描面由于丝杠公差引起的亚微米量级测量误差。
产品特性：                                                                                                  产品应用：   
        双模式操作（针尖扫描和样品台扫描）                                                     薄膜厚度测量
        可生成二维和三维图像                                                                                 台阶高度测量
        nm到1m的Z轴范围                                                                                      表面粗糙度测量
        XY扫描范围达到150x150mm                                                                     二维薄膜应力测量
        简单的2步关键操作，用户友好的软件界面                                              平坦度或曲率测量
        集成彩色光学相机，在扫描过程中可直接观察样品                                表面轮廓（缺陷、形貌等）呈现