硅片剥离清洗机

硅片剥离清洗机

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2018-05-15 13:36:02
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无锡贝克曼精密仪器有限公司

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产品简介

硅片剥离清洗机 1开发的磨削单元增强主轴精度,改善表面粗糙度 2采用非接触测量系统,平稳摆正硅片 3加工前进行多点非接触厚度,加工后进行缺口深度及直径测量 4模块式设计优化加工过程 5螺旋精磨系统 (选项,技术) 事项低损伤磨削

详细介绍

提供硅片加工使用的倒角机,内圆切片机等。
 
 硅片剥离清洗机C-RW-200/300
 
特点1
 
 
 
从切片基座上自动剥离硅片,清洗并储存到料盒
 
 
 倒角机W-GM-5200
 
开发的磨削单元增强主轴精度,改善表面粗糙度
采用非接触测量系统,平稳摆正硅片
加工前进行多点非接触厚度,加工后进行缺口深度及直径测量
模块式设计优化加工过程
螺旋精磨系统 (选项,技术) 事项低损伤磨削
 
特点1
 
 
 
兼容300mm及200mm硅片倒角
特点2
 
 
 
提供边缘及缺口面幅检查的图像处理系统(选项)
 
 
 倒角机W-GM-4200
 
开发的磨削单元增强主轴精度,改善表面粗糙度
采用非接触测量系统,平稳摆正硅片
加工前进行多点非接触厚度,加工后进行缺口深度及直径测量
模块式设计优化加工过程
螺旋精磨系统 (选项,技术) 事项低损伤磨削
 
特点1
 
 
 
加工范围为75 - 150 mm或150 - 200 mm
特点2
 
 
 
适用于多种材料加工,如化合物半导体
 
 
 Wafer Slicing Machine: S-LM-116G
 
精密切割硬脆材料如玻璃,陶瓷,磁性材料
 
特点1
 
 
 
使用16”刀片,易于调整,装卸
特点2
 
 
 
敞开式安装系统,易于装夹工件
特点3
 
 
 
通过数字开光方便设置切片速度及硅片厚度
特点4
 
 
 
高刚性工作台及坚固的框架保证性能*稳定
特点5
 
 
 
冷却水调整及修刀操作方便
 
 
 硅片划片机A-WS-100S
 
高精度划切硅片
 
特点1
 
 
 
易于调整。可以在水平及旋转方向调整
特点2
 
 
 
易于进行划切调整。可以在触摸按键设定步距数量,划切次数等
硅片剥离清洗机
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