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SemionTM离子能量/离子流量分析仪（减速场能量分析仪）
特点：1）RFEA探测器可安装于基片上；
2）原位测量 ：离子能量分布；离子流量；离子电流；电子流量和能量；
3）压力高达300mT的条件下可测得的能量达500eV；
4）脉冲体系中，时间分辨测量能力可达500kHz，时间间隔为44nS；
5）等离子体悬浮电位测量调节功能；
6）便携配置允许一个系统分析多个腔体；
SemionTM离子能量/离子流量分析仪（减速场能量分析仪）应用领域：等离子体工艺研究 ；真空镀膜 ；等离子体表面工程 ；半导体 ；太阳能/薄膜 ；
SemionTM 系统包括减速场能量分析（RFEA）多栅探测器、腔体整体连接装置和电子控制单元，可安装于多种等离子源结构，如电容耦合、电感耦合、磁电管、级联电弧和远程源等。该产品的一大特色就是能够在射频偏压表面上放置RFEA探测器（类似于硅片），可随着电极移动，用以测量该表面的离子流量和离子能量。
