铜片四探针电阻率测试仪由于电阻率受温度影响,一般测试适用温度为23℃±1 ℃.

对于厚度对测试的影响,仲裁测量要求厚度按本方法的6.3规定测量,一般测量用户可以根据实

际需要确定厚度的要求偏差。由于探针压力对测量结果有影响,测量时应选择合适的探针压力。仲裁测量时选择探针间距为1.59mm,非仲裁测量可选择其他探针间距。

方法提要直排四探针测量示意图测量仪器探针装置由以下几部分组成。1探针用钨,碳化钨或高速钢等金属制成,针尖呈圆锥型,夹角为45°~150*,初始标称半径为25 μm~50 μm。

5.1.2探针压力,每根探针压力为1.75 N士0.25 N或4.0N±0.5N,分别用于硅单晶棒的电阻率测

量,也可选择其他合适的探针压力。绝缘性,一探针(包括连接弹簧和外部引线)与任何其他探针或装置任一部分之间绝缘电阻大于

10’Ω.4探针排列和间距,四根探针的应成等间距直线排列。仲裁测量时,探针间距(相邻探针之间

的距离)标称值应为1.59mm。其他标称间距如1.00mm和0.6mm用于非仲裁测量,探针间距按7.2测定。探针架,能在针尖几乎无横向移动的情况下使探针下降到试样表面.

技术参数及功能介绍

铜片四探针电阻率测试仪如果不是采用直接测量电阻仪器,则让电流在正向,调节电流大小到近似表2推荐圆片的测量电流值,测量正向电流时标准电阻两端的电势差V,或直接测量流过模拟电路的正向电流1,再测量正向电流时模拟电路的电势差Va。将电流换向,测量反向电流时标准电阻两端的电势差V„或模拟电路的反向电流I„和反向电流时模拟电路的电势差V„。继续改变极性重复进行测量,记录5次每一极性的测量值。