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合金薄膜压力传感器利用离子束溅射薄膜技术结合*的微电子工艺技术制造而成。离子束溅射在电阻合金材料上,该合金材料以原子形式在弹性体上淀积成薄膜应变电阻,薄膜应变电阻与弹性体“融”为一体。可*在-196℃-350℃工作温度下稳定工作。生产流程中传感器经过了严格的高、低温循环,经过了数千次的疲劳冲击,产品具有准确度高,工作温度范围宽,温漂小,高稳定,高可靠,抗振动,抗冲击,抗辐射的工作特性。使用微束脉冲亚弧焊和激光焊,更使传感器具有防水、防潮功能,在各种恶劣的环境下能*稳定的工作。
主要性能指标:
量程范围:-0.1~200Mpa
准确度等级:±0.05FS、±0.1FS、±0.2FS、±0.3FS、±0.5FS
激励电压:5~15VDC
输出信号:≥1.0mV/V
工作温度:-50℃~175℃
非线性≤0.20%FS
重复性≤0.10%FS
滞后≤0.10%FS
灵敏度:≥1.0mV/V
零点漂移≤±0.1FS /年
过载:120%量程上限