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生产厂家厂商性质
南京市所在地
硅烷（SiH4）Silane
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | |||||||||
| 99.9999 | N2 | H2 | O2+Ar | CO | CO2 | CH4 | H2O | C2H6+C3H8 | SiH3Cl | 电阻率 |
| 1.00 | 20.0 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.50 | 0.10 | 0.15 | >1000Ωcm | |
| 99.999 | N2 | He | H2 | CO | CO2 | CH4 | H2O | O2+Ar | 电阻率 | |
| 5 | 5 | 100 | 0.50 | 0.50 | 0.50 | 2 | 1 | >1000Ωcm | ||
磷烷（PH3）Phosphine
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | ||||||
| 99.9999 | N2 | O2 | CO | CO2 | AsH3 | H2O | 总烃 |
| 0.3 | 0.1 | 0.05 | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | |
申烷（AsH3）Arsine
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | |||||||||||
| 99.9999 | Ar | N2 | O2 | CO | CO2 | CH4 | H2O | GeH4 | C2H6 | C3H8 | PH3 | SiH4 |
| 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.05 | 0.1 | 0.1 | 0.05 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.2 | 0.1 | |
锗烷（GeH4）Germane
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | |||
| 99.99 | N2 | O2 | THC | H2O |
| 5.0 | 1.0 | 1.0 | 5.0 | |
（B2H6）Diborane
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | ||||
| 99.995 | O2 | CO2 | H2O | CH4 | CH3Cl |
| 3.0 | 3.0 | 3.0 | 5.0 | 10.0 | |
| 99.95 | 5.0 | 10.0 | 5.0 | 100.0 | 100.0 |
氨（NH3）Ammonia
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | |||||
| 99.99 | O2+Ar | CO2 | H2O | CH4 | CO | H2 |
| 100.0 | 100.0 | 200.0 | 50.0 | 50.0 | 100.0 | |
一氧化碳（CO）Carbon Monoxide
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | ||||
| 99.9 | N2 | H2 | O2 | CO2 | H2O |
| 150.0 | 50.0 | 50.0 | 50.0 | 10.0 | |
*（N2O）Nitrous Oxide
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | |||||||
| 99.995 | O2+Ar | N2 | CO2 | CH4 | H2O | NO | NO2 | NH3 |
| 0.5 | 2.0 | 1.0 | 0.5 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | |
一氧化氮（NO）Nitric Oxide
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | ||||
| 99.9 | N2 | N2O | NO2 | CO2 | THC |
| 500.0 | 100.0 | 50.0 | 100.0 | 10.0 | |
二氧化硫（SO2）Sulfur Dioxide
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | ||
| 99.9 | 残渣 | 酸度 | H2O |
| 40.0 | 20.0 | 40.0 | |
羰基硫（COS）Carbonyl Oxysulfide
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | ||
| 99.98 | 残渣 | 酸度 | H2O |
| 40.0 | 20.0 | 40.0 | |
硫化氢（H2S）Hydrogen Sulfide
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | |||
| 99.9 | Air | THC | CO2 | H2O |
| 50.0 | 10.0 | 30.0 | 10.0 | |
碳氢化合物Hydrocarbon
| 分子式 | 名称 | 纯度（≥） | 分子式 | 名称 | 纯度（≥） |
| C2H2 | 乙炔 | 99.90% | C4H8 | 异丁烯 | 99.5-99.9% |
| CH4 | 甲烷 | 99.9-99.995% | C4H8 | 顺丁烯 | 99-99.9% |
| C2H6 | 乙烷 | 99.90% | C4H8 | 反丁烯 | 99-99.9% |
| C3H4 | 甲基乙炔 | 99.00% | C5H12 | 正戊烷 | 99.50% |
| C4H6 | 乙基乙炔 | 99.00% | C5H12 | 异戊烷 | 99.50% |
| C2H4 | 乙烯 | 99.90% | C4H6 | 1,2-丁二烯 | 99.50% |
| C4H10 | 异丁烷 | 99.50% | C4H6 | 1,3-丁二烯 | 99.90% |
| C3H8 | 丙烷 | 99-99.9% | C5H10 | 正戊烯 | 99.50% |
| C3H6 | 环丙烷 | 99.50% | C6H12 | 己烯 | 99.50% |
| C3H6 | 丙烯 | 99.90% | C6H12 | 环己烷 | 99.50% |
| C3H4 | 丙二烯 | 99.00% | C2H6O | 甲醚 | 99.90% |
| C4H8 | 正丁烯 | 99.90% | C2H4O | 环氧乙烷 | 99.90% |
氟气（F2） Fluoride
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,% ） | ||
| 99.0 | O2+N2 | CF4 | HF |
| 0.45 | 0.05 | 0.50 | |
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | |||||
| 99.9 | H2O | Cl2 | H2SiF6 | SO4-- | HPO4-- | Metals |
| 25.0 | 5.0 | 100.0 | 5.0 | 12.2 | 5.0 | |
三氟化氮（NF3）Nitrogen Trifluoride
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | ||||||||
| 99.9 | N2 | N2O | O2+Ar | CO | CO2 | H2O | CF4 | SF6 | 总F |
| 50.0 | 10.0 | 50.0 | 10.0 | 10.0 | 1.0 | 700 | 50.0 | 0.3 | |
,三氟化磷（PF3） Phosphorus Trifluoride
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | ||
| 99.9 | O2 | N2 | HF |
| 20.0 | 75.0 | 5.0 | |
（BF3）Boron Trifluoride
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | ||||||
| 99.99 | N2 | O2 | CO | CO2 | SO2 | SiF4 | MS |
| 15.0 | 5.0 | 2.0 | 20.0 | 20.0 | 20.0 | 8.0 | |
三氟甲烷（CHF3）Freon-23
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | |||||
| 99.995 | Air | H2O | CO2 | CH4 | HF | 其它碳氟 |
| 15.0 | 4.0 | 2.0 | 1.0 | 1.0 | 10.0 | |
四氟化碳（CF4）Carbon Trifluoride
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | ||||
| 99.999 | N2 | O2 | CO | H2O | 其它碳氟 |
| 2.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 5.0 | |
四氟化硅（SiF4）Silicon Trifluoride
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | |||||||
| 99.99 | N2 | O2 | CO | CO2 | CH4 | HF | PF5 | BF6 |
| 3.0 | 1.0 | 0.5 | 1.0 | 10.0 | 50.0 | 0.5 | 1.0 | |
五氟化磷（PF5）Phoshorus Pentafluoride
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | ||||
| 99.99 | N2 | H2 | O2 | H2O | 其它 |
| 50.0 | 5.0 | 20.0 | 5.0 | 30.0 | |
五氟化砷（AsF5）Arsenic Pentafluoride
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | ||||
| 99.9 | N2 | H2 | O2 | H2O | 其它 |
| 50.0 | 10.0 | 20.0 | 3.0 | 30.0 | |
五氟化溴（BrF5）Bromine Pentafluoride
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | |||
| 99.99 | N2 | O2 | H2O | 其它 |
| 0.1 | 0.1 | 10.0 | 0.1 | |
五氟化碘（IF5）Iodine Pentafluoride
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | |||
| 99.99 | N2 | O2 | H2O | 其它 |
| 0.1 | 0.1 | 10.0 | 0.1 | |
六氟乙烷（C
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | ||||
| 99.99 | N2 | O2 | CO | CO2 | H2O |
| 60.0 | 15.0 | 2.0 | 2.0 | 5.0 | |
六氟化硫（SF6）Sulfur Hexafluoride
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | ||||
| 99.99 | N2 | H2 | H2O | CF4 | 其它 |
| 24.0 | 6.0 | 5.0 | 20.0 | 5.0 | |
六氟化钨（WF6）Tungsten Hexafluoride
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppb ） | |||||||||||
| 99.98 | N2 | CO+CO2 | CF4 | HF | SiF4 | SF6 | O2+Ar | Fe | Cr | Na | K | U | Th |
| 10 | 1.0 | 1.0 | 10 | 0.5 | 0.5 | 1 | 10 | 10 | 10 | 20 | 0.05 | 0.1 | |
六氟化钼（MoF6）Molybdenum Hexafluoride
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | |||
| 99.7 | N2 | H2 | H2O | 其它 |
| 0.1% | 0.1% | 10ppm | 0.1% | |
八氟丙烷（C
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | |||
| 99.9 | O2 | H2O | 酸度 | 其它 |
| 3.0 | 3.0 | 2.0 | 2.0 | |
八氟环丁烷（C
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | |||
| 99.99 | N2 | H2 | H2O | 其它 |
| 4.0 | 6.0 | 5.0 | 5.0 | |
氯气（Cl2）Chlorine
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | |||||
| 99.999 | N2 | O2 | H2 | CO | CO2 | H2O |
| 2.0 | 2.0 | 0.1 | 1.0 | 0.1 | 2.0 | |
*（HCl）Hydrogen Chloride
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | ||||
| 99.999 | N2 | O2+Ar | CO2 | THC | H2O |
| 4.0 | 1.0 | 3.0 | 1.0 | 1.0 | |
三氯化硼（BCl3）Boron Trichloride
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | ||||||||||||
| 99.999 | N2 | O2 | CH4 | CO | COCl2 | HCl | Cl2 | Al | Ca | Cu | Fe | Si | Na |
| 4.0 | 1.0 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 1.0 | 0.3 | 0.1 | 0.02 | 0.01 | 0.3 | 1.0 | 0.1 | |
二氯二氢硅（SiH2Cl2）Dichlorosilane
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | ||
| 99.999 | H2O | THC | 其它氯硅烷 |
| 1.0 | 1.0 | 0.1% | |
四氯化硅（SiCl4）Silicon Tetrachloride
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | |||||||||||
| 99.99 | HCl | SiHCl3 | SiH2Cl2 | SiH3Cl | Si-OH | Si-OH（THC） | ppm | |||||
| 35.0 | 5.0 | 2.0 | 2.0 | 5.0 | 5.0 | |||||||
| Al | Co | Cr | Cu | Fe | Mn | Mo | Ni | Ti | V | Zn | ppb | |
| 10.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 10.0 | 1.0 | 7.0 | 2.0 | 1.0 | 2.0 | 3.0 | ||
溴化氢（HBr）Hydrogen Bromide
| 纯度Purity≥,% | 杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ） | |||
| 99.999 | H2O | CO2 | Air | HCl |
| 50.0 | 20.0 | 0.4 | 1500 | |
